喬 皎 賈 寧 楊 愷 杜蘊(yùn)慧 雷 蕾 夏邦壽

(1.生態(tài)環(huán)境部環(huán)境工程評(píng)估中心，北京 100012；2.中國(guó)航空規(guī)劃設(shè)計(jì)研究總院有限公司，北京 100120；3.福建省金皇環(huán)保科技有限公司，福建 福州 350001；4.信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計(jì)研究院科技工程股份有限公司，四川 成都 610021)

隨著經(jīng)濟(jì)的發(fā)展以及集成電路行業(yè)相關(guān)政策的促進(jìn)，我國(guó)集成電路行業(yè)銷(xiāo)售額持續(xù)穩(wěn)步增長(zhǎng)，成為了關(guān)系我國(guó)經(jīng)濟(jì)和社會(huì)發(fā)展的基礎(chǔ)性和先導(dǎo)性產(chǎn)業(yè)之一[1]。集成電路芯片制造是集成電路行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈中的主要產(chǎn)污環(huán)節(jié)，其生產(chǎn)工藝步驟多達(dá)一二百步，而且精度要求高，工藝復(fù)雜，使用多種有毒有害的化學(xué)品，包括硫酸、氫氟酸、鹽酸、硝酸、磷酸等各類(lèi)酸，氨水[2]、氫氧化鉀等各類(lèi)堿，丙酮、異丙醇、醋酸丁酯、N-甲基四氫吡咯酮(NMP)等各類(lèi)有機(jī)化學(xué)品，等等。使用的大多有毒有害化學(xué)品只是作為原輔材料，極少進(jìn)入最終產(chǎn)品，因此絕大部分就變成了污染物排放。

在國(guó)家“放管服”改革的大背景下，集成電路行業(yè)建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響評(píng)價(jià)(以下簡(jiǎn)稱(chēng)環(huán)評(píng))已簡(jiǎn)化為僅需編制環(huán)評(píng)報(bào)告表，且下放到了省級(jí)及以下地方生態(tài)環(huán)境部門(mén)審批，因此基層生態(tài)環(huán)境部門(mén)尤其是作為最低一級(jí)生態(tài)環(huán)境部門(mén)的縣級(jí)生態(tài)環(huán)境部門(mén)，承擔(dān)起了前所未有的審批壓力[3]，在執(zhí)行行政審批時(shí)對(duì)政策文件的理解和技術(shù)規(guī)范的把握存在很多困惑。

本研究聚焦我國(guó)集成電路行業(yè)環(huán)評(píng)管理現(xiàn)狀，在收集的2016—2018年全國(guó)200多個(gè)集成電路行業(yè)建設(shè)項(xiàng)目環(huán)評(píng)文件中篩選出了69個(gè)具有代表性的文件，在地方各級(jí)生態(tài)環(huán)境部門(mén)官方網(wǎng)站收集了一些地方分級(jí)審批、規(guī)劃環(huán)評(píng)、標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范等相關(guān)政策文件。目前，我國(guó)集成電路芯片制造以6英寸及以上的大尺寸芯片為主[4]，本研究篩選的69個(gè)具有代表性的文件覆蓋了我國(guó)6英寸及以上大尺寸集成電路芯片制造企業(yè)的80%。地方各級(jí)生態(tài)環(huán)境部門(mén)官方網(wǎng)站收集的相關(guān)政策文件基本反映了目前國(guó)內(nèi)地方各級(jí)生態(tài)環(huán)境部門(mén)對(duì)集成電路行業(yè)建設(shè)項(xiàng)目環(huán)評(píng)的管理水平。通過(guò)對(duì)上述資料的分析，針對(duì)目前在分類(lèi)管理和分級(jí)審批、與規(guī)劃環(huán)評(píng)銜接、建設(shè)項(xiàng)目重大變動(dòng)、執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范適用性等方面存在的問(wèn)題，提出了對(duì)策建議，為解決基層生態(tài)環(huán)境管理部門(mén)環(huán)評(píng)審批遇到的問(wèn)題和困惑、進(jìn)一步加強(qiáng)環(huán)評(píng)“放管服”事項(xiàng)、優(yōu)化調(diào)整環(huán)評(píng)管理制度等提供參考依據(jù)。

1 集成電路行業(yè)環(huán)評(píng)管理現(xiàn)狀及存在的問(wèn)題

1.1 建設(shè)項(xiàng)目環(huán)評(píng)分類(lèi)管理混亂與分級(jí)審批不均

自2008年以來(lái)，生態(tài)環(huán)境部(包括原環(huán)境保護(hù)部)發(fā)布過(guò)4版《建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響評(píng)價(jià)分類(lèi)管理名錄》(以下簡(jiǎn)稱(chēng)《名錄》)，其中集成電路建設(shè)項(xiàng)目的環(huán)評(píng)文件的分類(lèi)類(lèi)別在每一版中都會(huì)調(diào)整。2008年版《名錄》規(guī)定含前工序的集成電路建設(shè)項(xiàng)目需要編制的是環(huán)評(píng)報(bào)告書(shū)；2015年版《名錄》規(guī)定集成電路建設(shè)項(xiàng)目都只需編制環(huán)評(píng)報(bào)告表；2017年版《名錄》又要求含前工序的集成電路建設(shè)項(xiàng)目編制環(huán)評(píng)報(bào)告書(shū)；2018年版《名錄》重新恢復(fù)了都只需編制環(huán)評(píng)報(bào)告表。但通過(guò)收集到的69個(gè)具有代表性的文件統(tǒng)計(jì)分析發(fā)現(xiàn)，由于前工序產(chǎn)廢量大，且生產(chǎn)工藝可能涉及電鍍，上海、北京、四川等地在《名錄》不要求編制環(huán)評(píng)報(bào)告書(shū)的時(shí)候仍要求含前工序的集成電路建設(shè)項(xiàng)目環(huán)評(píng)報(bào)告表增加大氣、水、環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)等專(zhuān)題評(píng)價(jià)，內(nèi)容的復(fù)雜程度已類(lèi)似于環(huán)評(píng)報(bào)告書(shū)，甚至有少部分地區(qū)仍然要求涉及電鍍的項(xiàng)目編制環(huán)評(píng)報(bào)告書(shū)。盡管含前工序的集成電路建設(shè)項(xiàng)目污染物排放強(qiáng)度遠(yuǎn)高于只有封裝測(cè)試工序的集成電路建設(shè)項(xiàng)目，然而從69個(gè)具有代表性的文件數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)發(fā)現(xiàn)，含前工序的集成電路建設(shè)項(xiàng)目只有32個(gè)，這是因?yàn)楝F(xiàn)行的《名錄》不對(duì)集成電路建設(shè)項(xiàng)目是否含有前工序進(jìn)行有差別的分類(lèi)管理。

國(guó)家級(jí)、省級(jí)和市級(jí)生態(tài)環(huán)境部門(mén)均制定了建設(shè)項(xiàng)目環(huán)評(píng)文件分級(jí)審批相關(guān)政策文件，規(guī)定了各自的審批權(quán)限。通過(guò)對(duì)收集到的31個(gè)省級(jí)生態(tài)環(huán)境部門(mén)的分級(jí)審批相關(guān)政策文件進(jìn)行統(tǒng)計(jì)發(fā)現(xiàn)，目前全國(guó)29個(gè)省份的集成電路建設(shè)項(xiàng)目的審批權(quán)限主要集中在市級(jí)或縣級(jí)，僅北京、四川主要集中在省級(jí)。考慮到目前我國(guó)集成電路行業(yè)主要分布在長(zhǎng)三角地區(qū)、中西部地區(qū)、京津環(huán)渤海地區(qū)、珠三角地區(qū)及福廈泉地區(qū)，因此特別對(duì)這些地區(qū)涉及的22個(gè)省份的63個(gè)省級(jí)和市級(jí)生態(tài)環(huán)境部門(mén)的分級(jí)審批文件進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析，發(fā)現(xiàn)集成電路建設(shè)項(xiàng)目審批權(quán)限主要在縣級(jí)的有54個(gè)?？梢?jiàn)，縣級(jí)生態(tài)環(huán)境部門(mén)承擔(dān)起了大部分集成電路建設(shè)項(xiàng)目環(huán)評(píng)審批職責(zé)。

1.2 已開(kāi)展規(guī)劃環(huán)評(píng)的集成電路建設(shè)項(xiàng)目環(huán)評(píng)可簡(jiǎn)化內(nèi)容不明確

2015年，原環(huán)境保護(hù)部《關(guān)于加強(qiáng)規(guī)劃環(huán)境影響評(píng)價(jià)與建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響評(píng)價(jià)聯(lián)動(dòng)工作的意見(jiàn)》(環(huán)發(fā)〔2015〕178號(hào))中明確：“對(duì)符合規(guī)劃環(huán)評(píng)結(jié)論及審查意見(jiàn)要求的建設(shè)項(xiàng)目，其環(huán)評(píng)文件應(yīng)按照規(guī)劃環(huán)評(píng)的意見(jiàn)進(jìn)行簡(jiǎn)化”；2016年，原環(huán)境保護(hù)部《關(guān)于以改善環(huán)境質(zhì)量為核心加強(qiáng)環(huán)境影響評(píng)價(jià)管理的通知》(環(huán)環(huán)評(píng)〔2016〕150號(hào))中明確：“規(guī)劃環(huán)評(píng)要作為規(guī)劃所包含項(xiàng)目環(huán)評(píng)的重要依據(jù)，對(duì)于不符合規(guī)劃環(huán)評(píng)結(jié)論及審查意見(jiàn)的項(xiàng)目環(huán)評(píng)，依法不予審批。規(guī)劃所包含項(xiàng)目的環(huán)評(píng)內(nèi)容，應(yīng)當(dāng)根據(jù)規(guī)劃環(huán)評(píng)結(jié)論和審查意見(jiàn)予以簡(jiǎn)化?！?/p>

根據(jù)收集到的全國(guó)各省份發(fā)布的建設(shè)項(xiàng)目環(huán)評(píng)與規(guī)劃環(huán)評(píng)相關(guān)政策文件，對(duì)項(xiàng)目環(huán)評(píng)提出明確簡(jiǎn)化要求的只有河南、上海、江蘇、浙江等8個(gè)省份，其中又只有河南對(duì)具體簡(jiǎn)化內(nèi)容提出了明確要求，其他省份只是提出了降低環(huán)評(píng)報(bào)告等級(jí)、共享現(xiàn)狀環(huán)境數(shù)據(jù)和區(qū)域污染源調(diào)查數(shù)據(jù)等籠統(tǒng)的簡(jiǎn)化要求。

集成電路建設(shè)項(xiàng)目多數(shù)集中在工業(yè)園區(qū)內(nèi)，而入園項(xiàng)目的環(huán)評(píng)報(bào)告在編制過(guò)程中都會(huì)參照規(guī)劃環(huán)評(píng)及其審查意見(jiàn)，但由于大多數(shù)地區(qū)沒(méi)有出臺(tái)具體的可簡(jiǎn)化內(nèi)容，加上規(guī)劃環(huán)評(píng)本身的結(jié)論及審查意見(jiàn)也不給出具有可操作性的入園建設(shè)項(xiàng)目環(huán)評(píng)簡(jiǎn)化意見(jiàn)[5]，集成電路建設(shè)項(xiàng)目環(huán)評(píng)單位出于各方面考慮往往不會(huì)真正進(jìn)行簡(jiǎn)化，造成與園區(qū)的規(guī)劃環(huán)評(píng)重復(fù)工作。

1.3 集成電路行業(yè)缺乏建設(shè)項(xiàng)目重大變動(dòng)的界定標(biāo)準(zhǔn)

《環(huán)境影響評(píng)價(jià)法》(2018修正版)第24條規(guī)定：“建設(shè)項(xiàng)目的環(huán)境影響評(píng)價(jià)文件經(jīng)批準(zhǔn)后，建設(shè)項(xiàng)目的性質(zhì)、規(guī)模、地點(diǎn)、采用的生產(chǎn)工藝，或者防治污染、防治生態(tài)破壞的措施發(fā)生重大變動(dòng)的，建設(shè)單位應(yīng)當(dāng)重新報(bào)批建設(shè)項(xiàng)目的環(huán)境影響評(píng)價(jià)文件?！?/p>

集成電路行業(yè)有以下兩個(gè)方面的主要特征：(1)產(chǎn)品更新?lián)Q代快、研發(fā)周期短，按照行業(yè)內(nèi)的摩爾定律[6]，芯片上所集成的電路和微處理器等性能，每隔一段不長(zhǎng)的時(shí)間就能翻一番，且很大一部分企業(yè)為代生產(chǎn)工廠，一段時(shí)間后，往往由于市場(chǎng)需求、客戶委托內(nèi)容的變化，會(huì)對(duì)某些工藝、設(shè)備做出局部調(diào)整，雖然生產(chǎn)的都是同一類(lèi)產(chǎn)品，但產(chǎn)品的序列、層次可能已發(fā)生變化；(2)企業(yè)之間知識(shí)產(chǎn)權(quán)的主導(dǎo)權(quán)斗爭(zhēng)激烈[7]，所獲取的創(chuàng)新成果大多會(huì)及時(shí)登記為專(zhuān)利、商標(biāo)等進(jìn)行知識(shí)產(chǎn)權(quán)保護(hù)，而且企業(yè)出于商業(yè)機(jī)密的考慮，產(chǎn)品工藝、工序通常不會(huì)全部提供給環(huán)評(píng)單位，容易造成項(xiàng)目實(shí)際的污染物排放與環(huán)評(píng)報(bào)告不一致。

從集成電路行業(yè)的上述特征可以看出，集成電路建設(shè)項(xiàng)目從可研、初步設(shè)計(jì)到施工圖設(shè)計(jì)，再到具體施工階段，由于其市場(chǎng)定位、研發(fā)技術(shù)及產(chǎn)品規(guī)模等內(nèi)容都有可能發(fā)生變化，導(dǎo)致集成電路建設(shè)項(xiàng)目經(jīng)常出現(xiàn)實(shí)際生產(chǎn)的原輔材料使用量、設(shè)備等都較環(huán)評(píng)報(bào)告發(fā)生較大變化，但由于缺乏對(duì)其重大變動(dòng)的界定標(biāo)準(zhǔn)，導(dǎo)致不少企業(yè)不開(kāi)展變更環(huán)評(píng)，使得環(huán)評(píng)制度的有效執(zhí)行大打折扣。

1.4 集成電路行業(yè)現(xiàn)行污染物排放標(biāo)準(zhǔn)已顯過(guò)時(shí)

目前，集成電路行業(yè)的污染物排放標(biāo)準(zhǔn)主要執(zhí)行《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB 8978—1996)、《污水排入城鎮(zhèn)下水道水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)》(GB/T 31962—2015)、《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB 16297—1996)和《電鍍污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB 21900—2008)等。有少部分省份如上海、北京等出臺(tái)了相關(guān)的地方標(biāo)準(zhǔn)，如上海的《半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(DB31/ 374—2006)、北京的《電子工業(yè)大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(DB11/ 1631—2019)。國(guó)家層面的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)是《電子工業(yè)水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB 39731—2020)。

由于集成電路行業(yè)排放主要執(zhí)行的標(biāo)準(zhǔn)制定時(shí)間較早，且是綜合性標(biāo)準(zhǔn)，與行業(yè)的污染防治針對(duì)性不是很強(qiáng)。而且，集成電路行業(yè)的原材料構(gòu)成、生產(chǎn)工藝和產(chǎn)品結(jié)構(gòu)等都比較復(fù)雜，很多污染物都具有明顯的行業(yè)特征，其廢水中的總氮、氟化物指標(biāo)，廢氣中的砷化氫、磷化氫等指標(biāo)，在GB 8978—1996和GB 16297—1996中均沒(méi)有相應(yīng)的限制，對(duì)于部分有限制的指標(biāo)其標(biāo)準(zhǔn)也偏于寬松。因此，集成電路行業(yè)使用現(xiàn)行的污染物排放標(biāo)準(zhǔn)不利于行業(yè)的環(huán)境管理。

2 集成電路行業(yè)環(huán)評(píng)管理的對(duì)策建議

2.1 細(xì)化集成電路建設(shè)項(xiàng)目環(huán)評(píng)的分類(lèi)管理

建議對(duì)《名錄》進(jìn)一步進(jìn)行修訂完善，并且固定下來(lái)，細(xì)化集成電路建設(shè)項(xiàng)目的分類(lèi)管理類(lèi)別，按照工序、工藝等，建議單純測(cè)試的集成電路制造項(xiàng)目只需進(jìn)行登記備案，一般的集成電路制造項(xiàng)目需編制環(huán)評(píng)報(bào)告表，對(duì)于含前工序的集成電路建設(shè)項(xiàng)目在環(huán)評(píng)報(bào)告表中可以根據(jù)需要增加大氣、水、環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)等專(zhuān)題評(píng)價(jià)。

2.2 加強(qiáng)規(guī)劃環(huán)評(píng)與建設(shè)項(xiàng)目的環(huán)評(píng)聯(lián)動(dòng)

建議明確入園區(qū)集成電路建設(shè)項(xiàng)目環(huán)評(píng)的具體簡(jiǎn)化內(nèi)容：在工業(yè)園區(qū)規(guī)劃環(huán)評(píng)中已開(kāi)展深入論證且有明確結(jié)論的內(nèi)容，例如產(chǎn)業(yè)政策、環(huán)境準(zhǔn)入、市政基礎(chǔ)條件、園區(qū)廢水處理系統(tǒng)環(huán)境可行性等，集成電路建設(shè)項(xiàng)目的環(huán)評(píng)可以直接引用規(guī)劃環(huán)評(píng)及審查意見(jiàn)中的結(jié)論或簡(jiǎn)化。

2.3 明確界定集成電路行業(yè)建設(shè)項(xiàng)目重大變動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)

建議發(fā)布集成電路行業(yè)建設(shè)項(xiàng)目重大變動(dòng)判定的指導(dǎo)性文件或標(biāo)準(zhǔn)，明確需要報(bào)送變更環(huán)評(píng)報(bào)告的條件，可從主要生產(chǎn)裝置類(lèi)型、主要原輔材料類(lèi)型、主要燃料類(lèi)型以及生產(chǎn)工藝和技術(shù)等調(diào)整變化入手，定量規(guī)定由此導(dǎo)致的新增污染物量和生產(chǎn)能力變化，對(duì)于不屬于重大變動(dòng)的情況，在竣工驗(yàn)收時(shí)必須要求達(dá)到環(huán)評(píng)的要求。

2.4 嚴(yán)格行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)

目前，國(guó)家層面的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)GB 39731—2020已經(jīng)發(fā)布，但只是針對(duì)水污染物。建議集成電路建設(shè)項(xiàng)目集中分布的地區(qū)出臺(tái)更多更詳細(xì)的地方行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，有針對(duì)性強(qiáng)化對(duì)該行業(yè)的環(huán)境管理。

3 結(jié) 語(yǔ)

集成電路行業(yè)是國(guó)家戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)，是國(guó)民經(jīng)濟(jì)和社會(huì)信息化的重要基礎(chǔ)。近年來(lái)，在國(guó)家一系列政策措施的扶持下，經(jīng)過(guò)各方面共同努力，我國(guó)集成電路行業(yè)獲得了較快發(fā)展。集成電路制造企業(yè)大都為具有較強(qiáng)實(shí)力的大型企業(yè)，總體來(lái)說(shuō)環(huán)境管理比較規(guī)范，污染防治措施也能基本落實(shí)到位，若能進(jìn)一步完善其環(huán)評(píng)管理，則能更好地為地方生態(tài)環(huán)境部門(mén)管理人員環(huán)評(píng)審批服務(wù)，促進(jìn)集成電路行業(yè)更好地向綠色、節(jié)能的方向發(fā)展。