謝凱宏

摘要：預(yù)測性維修是近些年來維修領(lǐng)域當(dāng)中主要研究的問題之一，本文將從通常的預(yù)測維修論點(diǎn)出發(fā)，分別比較了修復(fù)性維修，預(yù)防性維修，還有預(yù)測性維修之間存在的優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn)，并且通過維修半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)行了一些預(yù)測性維修措施的論述。半導(dǎo)體再進(jìn)行生產(chǎn)的過程當(dāng)中都是以流水線的方式進(jìn)行生產(chǎn)的，如果在生產(chǎn)的過程當(dāng)中其中一臺生產(chǎn)設(shè)備出現(xiàn)了問題那么將會給整個(gè)生產(chǎn)流程帶來嚴(yán)重的損失。因此這就需要對一些重點(diǎn)用到的設(shè)備，進(jìn)行監(jiān)控和預(yù)知性的維修，從而將機(jī)器故障帶來的經(jīng)濟(jì)損失給有效避免。預(yù)測性維修，主要就是將狀態(tài)作為主要依據(jù)的一種維修方式，在生產(chǎn)設(shè)備在運(yùn)行的過程當(dāng)中，對設(shè)備進(jìn)行定期的狀態(tài)監(jiān)測和故障診斷，判斷出裝備整個(gè)所處的狀態(tài)，預(yù)測未來這個(gè)設(shè)備會朝著什么樣分方向去發(fā)展等等。預(yù)先制定一些維修計(jì)劃，保證機(jī)器能夠在運(yùn)作的過程當(dāng)中處于正常的狀態(tài)。因此可以看出半導(dǎo)體設(shè)備的預(yù)測性維修對于設(shè)備維修來說具有非常重要的意義。

關(guān)鍵詞：半導(dǎo)體設(shè)備;預(yù)測性維修;

隨著社會的進(jìn)步和科技水品的不斷提高，設(shè)備制造技術(shù)逐漸朝著高科技，高集成度的方向去發(fā)展，因此這也給設(shè)備維修帶來了前所未有的挑戰(zhàn)，伴隨著維修科學(xué)的不斷發(fā)展，預(yù)測性維修也逐漸地成為了當(dāng)今一種較為受歡迎的維修方式。預(yù)測性維修相對于修復(fù)式維修和預(yù)防性維修來說具有著各種各樣的優(yōu)點(diǎn)，并且預(yù)測性維修的發(fā)展前景更為廣闊。

一、維修方式的發(fā)展

維修方式如果按照不同的分類方式具有著不同的維修名稱，如果按照設(shè)備狀態(tài)和維修過程中的時(shí)機(jī)來劃分的話可以將維修分為故常前維修和故障后維修這兩種維修方式。如果按照維修依據(jù)的不相同則還可以分為，預(yù)防性維修和預(yù)測性維修這兩種。修復(fù)性維修又被叫做故障后維修，就是在機(jī)器出現(xiàn)故障之后然后對機(jī)器進(jìn)行的維修。這種維修方式的依據(jù)主要就是看設(shè)備是否完好，在設(shè)備局部或者是全面出現(xiàn)故障之后然后再讓其恢復(fù)到原本狀態(tài)的維修方式，這種維修方式也可以被叫做非計(jì)劃性維修;預(yù)防性維修主要指的就是對設(shè)備進(jìn)行定期定時(shí)間的維護(hù)和保養(yǎng)，按照規(guī)定的時(shí)間對設(shè)備進(jìn)行停機(jī)檢查，更換設(shè)備當(dāng)中要出現(xiàn)故障的零件防止設(shè)備在真正的應(yīng)用過程中出現(xiàn)各種各樣的問題。同樣也方式設(shè)備發(fā)生損壞從而為生產(chǎn)帶來嚴(yán)重的問題。這種維修方式的進(jìn)行在維修的過程當(dāng)中主要所采用的就是計(jì)劃維修和定期維修;最后一種就是本文提到的預(yù)測性維修，預(yù)測性維修主要就是將設(shè)備運(yùn)行的狀態(tài)作為維修的依據(jù)，在設(shè)備在生產(chǎn)運(yùn)行的過程當(dāng)中，對設(shè)備當(dāng)中一些重要設(shè)備進(jìn)行監(jiān)控個(gè)故障診斷，判定機(jī)器運(yùn)行的狀態(tài)，預(yù)測裝備的狀態(tài)，以及未來運(yùn)行過程中的發(fā)展趨勢。將這些作為設(shè)備預(yù)測性維修的依據(jù)，防止機(jī)器出現(xiàn)故障，并且預(yù)先設(shè)定預(yù)測性維修的計(jì)劃。確保機(jī)器能夠處于正常的運(yùn)行狀態(tài)。

二、預(yù)測性維修的意義

預(yù)測性維修對于整個(gè)設(shè)備管理來說具有非常重要的意義，也是設(shè)備維修過程當(dāng)中必不可少的一個(gè)環(huán)節(jié)，雖然預(yù)測性維修在整個(gè)設(shè)備維修過程當(dāng)中不能夠?qū)⒍ㄆ诰S修和預(yù)防性維修工作代替，但是如果對設(shè)備進(jìn)行一個(gè)正常的監(jiān)控這樣就能夠有效的避免在設(shè)備運(yùn)行過程當(dāng)中由于故障問題帶來的經(jīng)濟(jì)損失。預(yù)測性維修尤其對于流水線作業(yè)的半導(dǎo)體來說更加重要，因?yàn)槿绻魉€作業(yè)當(dāng)中有一個(gè)設(shè)備出現(xiàn)故障那么將會導(dǎo)致整個(gè)流程都停滯，這樣就給半導(dǎo)體生產(chǎn)企業(yè)帶來嚴(yán)重的經(jīng)濟(jì)損失。因此這就必須在設(shè)備運(yùn)行的過程當(dāng)中定期的進(jìn)行設(shè)備更新，并且對設(shè)備當(dāng)中一些關(guān)鍵的設(shè)備進(jìn)行監(jiān)控，確保設(shè)備能夠處于一個(gè)正常的運(yùn)行狀態(tài)，對設(shè)備進(jìn)行預(yù)測性維修這樣就能夠大大地降低故障發(fā)生的概率，避免由于設(shè)備故障出現(xiàn)的重大事故。除此之外在現(xiàn)代設(shè)備運(yùn)行的過程當(dāng)中對設(shè)備進(jìn)行監(jiān)控也是當(dāng)代設(shè)備在維修過程中的必然需求，能夠有效地降低因此造成的各種經(jīng)濟(jì)損失，也能夠有效地降低在設(shè)備維修過程中所產(chǎn)生的維修費(fèi)用問題。因此可以看出對設(shè)備進(jìn)行預(yù)測性維修對于整個(gè)生產(chǎn)企業(yè)來說具有非常重要的意義，不單單能夠讓企業(yè)處于正常的運(yùn)行狀態(tài)，還能夠讓企業(yè)的經(jīng)濟(jì)效益得到保障。

三、半導(dǎo)體設(shè)備的維修管理模式

半導(dǎo)體設(shè)備在維修和管理的過程當(dāng)中主要分為四種方式，第一種就是以預(yù)防為主，最大程度上減少設(shè)備出現(xiàn)故障的概率;第二種就是對設(shè)備建立起一種較為完善的維修標(biāo)準(zhǔn)文件，設(shè)備指示技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)，設(shè)備保護(hù)標(biāo)準(zhǔn)，維修標(biāo)準(zhǔn)等等，這些都將成為預(yù)防性維修作業(yè)的基礎(chǔ)和根據(jù);第三種就是建立起預(yù)測性維修的管理體系，這種維修方式主要強(qiáng)調(diào)的就是基層管理模式，提倡信息反饋，對設(shè)備進(jìn)行更加高效的管理;最后一種就是要有明確的管理目標(biāo)，目標(biāo)是企業(yè)生產(chǎn)的動力，樹立正確的服務(wù)關(guān)鍵，堅(jiān)持對設(shè)備進(jìn)行全面安全的管理模式也是半導(dǎo)體設(shè)備管理和維修過程中非常重要的環(huán)節(jié)。

四、預(yù)測性維修方式在線監(jiān)控方案

在對設(shè)備進(jìn)行監(jiān)控管理的過程當(dāng)中所需要監(jiān)控的重點(diǎn)就是設(shè)備的參數(shù)，例如一些溫度，壓力，真空條件，電壓，電流等等一些設(shè)備當(dāng)中的參數(shù)，這樣就能夠讓維護(hù)人員對設(shè)備進(jìn)行精準(zhǔn)的把控從而能夠防止設(shè)備出現(xiàn)一些列安全事故。預(yù)測性檢測方式主要就是一設(shè)備管理狀態(tài)和系統(tǒng)作為主要的支撐條件，系統(tǒng)為整個(gè)設(shè)備提供出較為完善的設(shè)備材料，設(shè)備運(yùn)行中的狀態(tài)，還有檢驗(yàn)等各種信息。確保相關(guān)的管理人員能夠定期對設(shè)備進(jìn)行排查和檢驗(yàn)，對設(shè)備能夠有一個(gè)充分且細(xì)致的了解。因此可以看出在對設(shè)備進(jìn)行維修的過程當(dāng)中制定出較為完善的在線監(jiān)控方案也是非常重要的一步。

五、半導(dǎo)體設(shè)備的預(yù)測性維護(hù)

預(yù)測性維護(hù)主要所依據(jù)就是設(shè)備運(yùn)行的狀態(tài)，強(qiáng)調(diào)對設(shè)備進(jìn)行診斷和故障監(jiān)測，所指的就是能夠定期的對設(shè)備進(jìn)行檢測和檢查，根據(jù)設(shè)備當(dāng)中排查出來的結(jié)果然后判斷設(shè)備在運(yùn)行的過程當(dāng)中是否會出現(xiàn)異常的狀態(tài)，在定期的對設(shè)備進(jìn)行維修和維護(hù)。這樣就需要對每一臺機(jī)器設(shè)備進(jìn)行記錄，并且記錄每一臺機(jī)器出現(xiàn)故障的原因，以及在出現(xiàn)故障之后才去的措施，生產(chǎn)的時(shí)間，生產(chǎn)的設(shè)備記錄在案，將這些記錄的數(shù)據(jù)作為歷史記錄，方便在下次進(jìn)行維修的過程當(dāng)中能夠著重的對這些進(jìn)行檢測。舉個(gè)例子就是對設(shè)備進(jìn)行這樣的檢查：

其次就是能夠?qū)υO(shè)備的實(shí)時(shí)動態(tài)參數(shù)進(jìn)行控制，這些動態(tài)的參數(shù)需要每天都有專業(yè)相關(guān)的人員定期的進(jìn)行檢查和記錄。根據(jù)每天巡查的結(jié)果，來判斷設(shè)備故障是否是突然出現(xiàn)。如果在檢測當(dāng)中的參數(shù)并沒有指示設(shè)備出現(xiàn)各種不正常的狀態(tài)，那么就說明設(shè)備正處于正常的運(yùn)行狀態(tài)。結(jié)合設(shè)備故障出現(xiàn)的參數(shù)，以及相同環(huán)境之下其他設(shè)備運(yùn)行的狀態(tài)記錄下來這樣就能夠更好的檢測出設(shè)備內(nèi)部出現(xiàn)的情況，將維修方案制定出來，并且還能夠在進(jìn)行維修的過程當(dāng)中采取各種防范措施防止下一次設(shè)備安全事故的發(fā)生。

結(jié)束語

總而言之，上面所提到的檢測和維修的方法，都是由人工進(jìn)行操控和進(jìn)行，因此這就會導(dǎo)致在進(jìn)行監(jiān)測的過程當(dāng)中常常出現(xiàn)各種不連續(xù)的狀況，甚至還有可能出現(xiàn)各種各樣的參數(shù)遺漏，從而影響設(shè)備的預(yù)測性維修。如果想要對設(shè)備實(shí)現(xiàn)更好的預(yù)測性維修，這就需要在維修的過程當(dāng)中采用更多的先進(jìn)技術(shù)，以及連續(xù)的監(jiān)測才能夠讓預(yù)測性維修在半導(dǎo)體設(shè)備維修過程當(dāng)中得到更好的應(yīng)用。并且對半導(dǎo)體進(jìn)行預(yù)測性設(shè)備維修能夠有效地降低生產(chǎn)過程當(dāng)中出現(xiàn)的各種事故，還能夠有效的避免企業(yè)的經(jīng)濟(jì)損失。因此可以看出預(yù)測性維修對于半導(dǎo)體設(shè)備來說具有非常重要的意義。也是當(dāng)今維修過程中的重要維修方式之一。

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（作者單位：北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司）