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退火處理對(duì)DLC薄膜結(jié)構(gòu)及摩擦學(xué)性能的影響

2019-02-26 02:17王林青周永濤王軍軍
表面技術(shù) 2019年2期
關(guān)鍵詞:薄膜性能結(jié)構(gòu)

王林青,周永濤,王軍軍

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