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DLC涂層的制備及內(nèi)應(yīng)力、熱穩(wěn)定性改善措施研究現(xiàn)狀

2019-01-12 09:17:26周瓊,黃彪,張而耕
陶瓷學(xué)報(bào) 2019年5期
關(guān)鍵詞:內(nèi)應(yīng)力熱穩(wěn)定性涂層

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