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單晶鎳基合金的層錯(cuò)能及其對(duì)蠕變機(jī)制的影響

2018-10-18 08:48:12閆化錦田素貴朱新杰于慧臣舒德龍張寶帥
材料工程 2018年10期
關(guān)鍵詞:單晶組態(tài)原子

閆化錦,田素貴,, 朱新杰,于慧臣,舒德龍,張寶帥

(1貴州工程應(yīng)用技術(shù)學(xué)院 機(jī)械工程學(xué)院,貴州 畢節(jié) 551700; 2 沈陽工業(yè)大學(xué) 材料科學(xué)與工程學(xué)院,沈陽110870;3 中國航發(fā)北京 航空材料研究院 航空材料檢測(cè)與評(píng)價(jià)北京市重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,北京 100095)

層錯(cuò)能是金屬材料的一個(gè)重要物理性質(zhì)[1-2],不同材料具有不同的層錯(cuò)能,而同一材料在不同溫度具有不同的層錯(cuò)能,即:溫度對(duì)金屬材料的層錯(cuò)能有重要影響。研究表明[3-5],在變形期間,位錯(cuò)的運(yùn)動(dòng)方式與金屬材料的層錯(cuò)能密切相關(guān),故層錯(cuò)能對(duì)金屬材料的力學(xué)及蠕變性能有重要影響,因而,金屬材料在不同溫度區(qū)間表現(xiàn)出不同的力學(xué)性能和變形機(jī)制。鎳基單晶合金具有良好的高溫力學(xué)及抗蠕變性能,已被廣泛應(yīng)用于制作先進(jìn)航空發(fā)動(dòng)機(jī)的葉片部件[6-8],且隨著航空發(fā)動(dòng)機(jī)功率和熱效率等使用性能的提高,要求合金具有更高的承溫能力。不同成分合金具有不同的層錯(cuò)能,因而表現(xiàn)出不同的蠕變性能。加入難熔元素Re,W可有效提高合金的高溫力學(xué)性能[9-10],且隨其含量的增加,合金的承溫能力大幅度提高。盡管由單晶鎳基合金制作的熱端葉片部件主要在高溫環(huán)境下應(yīng)用,但實(shí)際上,航空發(fā)動(dòng)機(jī)從啟動(dòng)到穩(wěn)定運(yùn)行,經(jīng)歷了中溫/高應(yīng)力和高溫/低應(yīng)力等不同環(huán)境。文獻(xiàn)報(bào)道,在800℃中溫/高應(yīng)力蠕變條件下,合金中存在〈112〉超肖克萊不全位錯(cuò)+層錯(cuò)的位錯(cuò)組態(tài),而在1070℃高溫/低應(yīng)力下,僅為〈110〉超位錯(cuò)切入γ′相,表明合金在不同溫度區(qū)間具有不同的蠕變行為和變形機(jī)制[11-12]。但合金層錯(cuò)能與溫度之間的關(guān)系,以及層錯(cuò)能對(duì)變形機(jī)制的影響,則很少有文獻(xiàn)報(bào)道。由于層錯(cuò)能對(duì)合金的變形機(jī)制、蠕變壽命及部件工作的安全可靠性有重要影響,因此,了解合金在不同溫度區(qū)間的層錯(cuò)能及對(duì)蠕變機(jī)制的影響尤為重要。

本工作對(duì)一種高合金化含Re單晶鎳基合金在760℃/810MPa、980℃/300MPa和1070℃/160MPa條件下進(jìn)行蠕變性能測(cè)試、組織形貌觀察與位錯(cuò)組態(tài)分析,并采用熱力學(xué)方法計(jì)算合金在不同溫度的層錯(cuò)能,研究溫度對(duì)合金層錯(cuò)能及層錯(cuò)能對(duì)合金蠕變機(jī)制的影響,為合金的工程化應(yīng)用提供理論依據(jù)。

1 實(shí)驗(yàn)材料與方法

采用選晶法在高溫度梯度真空定向凝固爐中,將成分為Ni-4Cr-9Co-9W-2Mo-6Al-7Ta-2Re的母合金制備成[001]取向的單晶試樣。用勞埃背反射法測(cè)定出單晶合金試棒與[001]取向的偏差在6°以內(nèi)。合金熱處理工藝為:1290℃, 1h+1300℃, 2h, AC+1315℃,4h,AC+1120℃,4h,AC+870℃,3h,AC。

經(jīng)完全熱處理后,將合金試棒沿[001]取向的(100)晶面切割成片狀拉伸蠕變樣品,試樣的橫斷面尺寸為4.5mm×2.5mm,標(biāo)距長(zhǎng)度為20mm。片狀拉伸蠕變?cè)嚇咏?jīng)表面機(jī)械研磨及拋光后,置于GWT504型高溫持久/蠕變?cè)囼?yàn)機(jī)中,在760℃/810MPa、980℃/300MPa和1070℃/160MPa條件下進(jìn)行蠕變性能測(cè)試,繪制蠕變曲線。將蠕變斷裂后的樣品在TEM下進(jìn)行組織形貌觀察及位錯(cuò)組態(tài)的衍襯分析,研究合金在不同條件下的變形機(jī)制。根據(jù)各元素在γ′/γ兩相中的分配比值,采用熱力學(xué)方法計(jì)算合金中γ′相在不同溫度的層錯(cuò)能,考察層錯(cuò)能對(duì)合金蠕變期間變形機(jī)制的影響。

2 合金的層錯(cuò)能

在面心立方結(jié)構(gòu)的金屬中,a/6〈112〉不全位錯(cuò)的滑移面為{111}原子密排面。當(dāng)形成層錯(cuò)時(shí),密排面的正常堆垛順序被破壞,相當(dāng)于在FCC原子堆垛結(jié)構(gòu)中插入兩層HCP堆垛結(jié)構(gòu)的原子。因此,層錯(cuò)能可用具有兩層FCC結(jié)構(gòu)的γ原子與具有兩層HCP結(jié)構(gòu)的ε原子的Gibbs自由能之差表示。對(duì)于合金,由于元素在層錯(cuò)區(qū)的濃度與合金的平均成分不同。因此,層錯(cuò)能γSF可表示為[13]:

(1)

式(1)中由置換原子組成的體系自由能可表示為:

(2)

(3)

(4)

(5)

式中:ΔGchm為鈴木偏聚引起的化學(xué)自由能;ΔGsur為基體和層錯(cuò)區(qū)元素濃度不同引起的表面自由能;ΔGels為原子尺寸不同引起的彈性自由能,后者在熱力學(xué)計(jì)算中忽略不計(jì)。

根據(jù)Chou模型[14]計(jì)算出三元合金的置換原子和偏聚原子引起的自由能變化,并利用公式(1)~(5)計(jì)算Ni-Al-M三元合金的層錯(cuò)能,其中,晶格穩(wěn)定化參數(shù)取自文獻(xiàn)[15],利用文獻(xiàn)[16-17]中的方法,計(jì)算出過渡族金屬和非過渡族金屬之間形成固溶體、化合物時(shí)的混合生成焓ΔHmix,計(jì)算時(shí)使用的參數(shù)P= 14.1V-1cm-2(d.u.)-1/3,R= 0,α=0.04。

Ni-Al-W三元合金中不同溫度的自由能值列于表1。

表1 Ni-Al-W三元合金中自由能在不同溫度的計(jì)算值Table 1 Calculated values of free energies in Ni-Al-W ternary alloy at different temperatures

由于合金在蠕變期間的激活位錯(cuò)主要在γ′相中發(fā)生分解及形成層錯(cuò),因此,可用γ′相的層錯(cuò)能表示合金的層錯(cuò)能。計(jì)算中把合金視為固溶體,根據(jù)合金中元素Cr,Co,W,Mo,Al,Ta和Re在γ′/γ兩相中的分配比值[18],計(jì)算出Ni-6%Al-1%M(M=Cr, Co, Ta, Mo, Re)及Ni-6%Al-1%W三元合金中γ′相在不同溫度的層錯(cuò)能,如圖1所示。可以看出,相對(duì)于元素W,元素Ta,Cr,Co,Mo和Re均可降低Ni-6%Al-1%M三元合金的層錯(cuò)能,而元素Re降低合金層錯(cuò)能的幅度最大。這里定義Ni-6%Al-1%M和Ni-6%Al-1%W三元合金層錯(cuò)能的比值為各元素的當(dāng)量換算系數(shù),其比值列于表2??梢钥闯觯辖鹬懈髟卦诓煌瑴囟染哂胁煌漠?dāng)量換算系數(shù)。

圖1 Ni-6%Al-1%M合金系中γ′相在不同溫度的層錯(cuò)能Fig.1 Stacking fault energies of the γ′ phase in Ni-6%Al-1%M alloys at different temperatures

表2 合金組成元素M在不同溫度的當(dāng)量換算系數(shù)Table 2 Equivalent conversion coefficients of components Mat different temperatures

對(duì)各元素在不同溫度的當(dāng)量換算系數(shù)與質(zhì)量分?jǐn)?shù)的乘積求和,得到Ni-6%Al-x%M(M=Cr,Co,W,Ta,Mo,Re)多元合金中元素在不同溫度γ′相中的總濃度ZT為:

ZT=∑A(T)i·[C%]i

(6)

將多元合金中元素在γ′相中的總濃度ZT代入公式(1),求出Ni-6%Al-x%M多元合金中γ′相在760,980,1070℃的層錯(cuò)能分別為128.11,281.21,349.1mJ/m2。

3 合金在不同溫度的蠕變行為

3.1 不同溫度的蠕變行為與變形機(jī)制

在760℃/810MPa、980℃/300MPa和1070℃/160MPa條件下,分別測(cè)定出[001]取向單晶鎳基合金的蠕變曲線,如圖2所示。可以看出,合金在760℃/810MPa具有較短的初始蠕變階段,而穩(wěn)態(tài)蠕變期間持續(xù)的時(shí)間較長(zhǎng),約為200h,穩(wěn)態(tài)蠕變期間的最低應(yīng)變速率為1.58×10-6h-1。測(cè)定出合金的蠕變壽命長(zhǎng)達(dá)241h,蠕變斷裂后的應(yīng)變量為12.06%。

圖2 合金在不同條件測(cè)定的蠕變曲線Fig.2 Creep curves of the alloy at different conditions

合金在980℃/300MPa穩(wěn)態(tài)蠕變期間的最低應(yīng)變速率為1.98×10-6h-1,蠕變壽命為155h,蠕變應(yīng)變量為13.18%。而合金在1070℃/160MPa穩(wěn)態(tài)期間的最低應(yīng)變速率為2.26×10-6h-1,蠕變壽命為132h,蠕變應(yīng)變量為10.54%。表明,合金在不同條件下均表現(xiàn)出較好的蠕變抗力。

合金經(jīng)不同條件蠕變斷裂后,近斷口區(qū)域的微觀組織形貌(膜面平行于(100)晶面)如圖3所示。經(jīng)760℃/810MPa蠕變241h斷裂后,合金的微觀形貌示于圖3(a),可以看出,合金中的γ′相仍為立方體形貌,在立方γ′相邊界的黑色區(qū)域?yàn)棣没w通道,在γ′/γ兩相界面存在高密度位錯(cuò)纏結(jié),并有超位錯(cuò)剪切進(jìn)入立方γ′相,如箭頭標(biāo)注所示,其中,剪切進(jìn)入γ′相的位錯(cuò)發(fā)生分解,可形成不全位錯(cuò)+層錯(cuò)的位錯(cuò)組態(tài),如字母M標(biāo)注所示,由于層錯(cuò)條紋具有對(duì)稱特征,且外側(cè)顯示暗色襯度,故可確定該層錯(cuò)為超點(diǎn)陣內(nèi)稟層錯(cuò)(super-lattice intrinsic stacking fault,SISF),其中,另一層錯(cuò)的條紋襯度與層錯(cuò)M方向垂直,如字母N標(biāo)注所示。

圖3 不同條件下合金蠕變斷裂后的微觀組織 (a)760℃/810MPa;(b)980℃/300MPa;(c)1070℃/160MPaFig.3 Microstructures after the alloy crept up to fracture under different conditions (a)760℃/810MPa;(b)980℃/300MPa;(c)1070℃/160MPa

合金經(jīng)980℃/300MPa蠕變155h斷裂后,近斷口區(qū)域的組織形貌如圖3(b)所示,施加應(yīng)力的方向如箭頭所示??梢钥闯觯谩湎嘁呀?jīng)沿垂直于應(yīng)力軸方向轉(zhuǎn)變成筏狀結(jié)構(gòu),并有大量不同跡線方向的位錯(cuò)切入筏狀γ′相。分析認(rèn)為,大量不同方向的位錯(cuò)發(fā)生交替滑移,可促使筏狀γ′相發(fā)生扭曲,其筏狀γ′相的扭曲形態(tài),如字母S標(biāo)注所示。經(jīng)1070℃/160MPa蠕變132h斷裂后,在近斷口區(qū)域的組織形貌如圖3(c)所示。此處γ′相已形成較粗大的筏狀結(jié)構(gòu),在筏狀γ′/γ兩相界面存在規(guī)則的位錯(cuò)網(wǎng),如區(qū)域H所示,在照片下部?jī)H有少量位錯(cuò)剪切進(jìn)入筏狀γ′相,如水平箭頭標(biāo)注所示。在上方有大量位錯(cuò)切入γ′相,如傾斜箭頭標(biāo)注所示,并有位錯(cuò)列切入γ′相內(nèi),如字母J標(biāo)注所示。與圖3(b)相比,筏狀γ′相厚度增加,這是因?yàn)槿渥兒笃谠搮^(qū)域發(fā)生縮頸,形變量較大,使其承載的有效應(yīng)力增大。

3.2 位錯(cuò)組態(tài)的衍襯分析

(7)

圖4 760℃/810MPa蠕變241h斷裂后合金γ′相內(nèi)的位錯(cuò)組態(tài)Fig.4 Dislocation configuration within the γ′ phase after alloy crept for 241h up to fracture at 760℃/810MPa

圖5 980℃/300MPa蠕變155h斷裂后筏狀γ′相內(nèi)的位錯(cuò)組態(tài)Fig.5 Dislocation configuration within the rafted γ′ phase after alloy crept for 155h up to fracture at 980℃/300MPa

(8)

圖6 1070℃/160MPa蠕變132h斷裂后合金γ′相內(nèi)的位錯(cuò)組態(tài)Fig.6 Dislocation configuration within the γ′ phase after alloy crept for 132h up to fracture at 1070℃/160MPa

4 討論

4.1 層錯(cuò)能對(duì)變形機(jī)制的影響

計(jì)算表明,相同成分合金在不同溫度具有不同的層錯(cuò)能。實(shí)驗(yàn)用單晶合金在760℃的層錯(cuò)能為128.11mJ/m2,隨溫度的提高合金的層錯(cuò)能增大,因此,合金在不同溫度表現(xiàn)出不同的變形機(jī)制(圖4~6)。表明層錯(cuò)能對(duì)合金的變形機(jī)制有重要影響。

位錯(cuò)組態(tài)衍襯分析表明,760℃/810MPa蠕變期間,較低層錯(cuò)能合金中γ′相的變形機(jī)制是〈011〉超位錯(cuò)剪切進(jìn)入γ′相,并可分解形成(1/3)〈112〉超肖克萊不全位錯(cuò)+SISF的位錯(cuò)組態(tài)。在980℃/300MPa蠕變期間,γ′相的層錯(cuò)能提高到281.21mJ/m2,位錯(cuò)分解的阻力增大,故〈110〉超位錯(cuò)沿{111}面切入γ′相分解時(shí),形成(1/2)〈110〉+APB的位錯(cuò)組態(tài),如圖5中位錯(cuò)G所示。而1070℃/160MPa蠕變期間,合金中γ′相的層錯(cuò)能進(jìn)一步提高到349.1mJ/m2,故合金在蠕變期間僅發(fā)生螺、刃或混合超位錯(cuò)剪切γ′相,而不發(fā)生位錯(cuò)的分解(圖6)。

以上結(jié)果表明,蠕變期間位錯(cuò)的運(yùn)動(dòng)方式與合金的層錯(cuò)能密切相關(guān)[3-4]。在低層錯(cuò)能合金中分解的位錯(cuò)易于擴(kuò)展,可形成肖克萊不全位錯(cuò)+SISF的位錯(cuò)組態(tài),且位錯(cuò)擴(kuò)展的寬度較大(圖3(a))。由于擴(kuò)展的位錯(cuò)不易束集,難以進(jìn)行交滑移,因而可增加位錯(cuò)運(yùn)動(dòng)的阻力,提高合金的蠕變抗力。隨溫度的提高,合金的層錯(cuò)能增加,位錯(cuò)分解的阻力增大,致使合金在980℃/300MPa蠕變期間切入γ′相的〈110〉超位錯(cuò)僅有少量分解,并形成(1/2)〈110〉不全位錯(cuò)+APB的位錯(cuò)組態(tài)。隨蠕變溫度及層錯(cuò)能的進(jìn)一步提高,剪切進(jìn)入γ′相的位錯(cuò)不發(fā)生分解(圖6)。由此可以認(rèn)為,合金在不同溫度蠕變期間的變形機(jī)制均為〈110〉超位錯(cuò)剪切γ′相,而超位錯(cuò)剪切進(jìn)入γ′相的分解方式取決于合金的層錯(cuò)能,隨合金的層錯(cuò)能由低至高逐漸增加,位錯(cuò)分解可形成不全位錯(cuò)加SISF或APB的位錯(cuò)組態(tài),其中,位錯(cuò)分解形成的SISF或APB均可阻礙位錯(cuò)運(yùn)動(dòng),提高合金的蠕變抗力。

4.2 位錯(cuò)分解的理論分析

圖7為γ′相中{111}面的原子排列方式及位錯(cuò)分解示意圖。合金中γ′相為面心立方的Ll2有序結(jié)構(gòu),易滑移系是{111}〈110〉,由于合金中γ′相層錯(cuò)能及變形條件的不同,當(dāng)剪切進(jìn)入γ′相的〈110〉超位錯(cuò)分解時(shí),根據(jù){111}面原子遷移的位移矢量,在位錯(cuò)分解形成的不全位錯(cuò)之間,分別可形成超點(diǎn)陣內(nèi)稟層錯(cuò)、反向疇界和復(fù)雜層錯(cuò)(complex stacking fault,CSF)等面缺陷[19],其原子可遷移的位移矢量如圖7(a)所示。合金在760℃具有較低的層錯(cuò)能,蠕變期間當(dāng)剪切進(jìn)入γ′相的位錯(cuò)發(fā)生分解,使原子在{111}面相對(duì)于另一層原子發(fā)生矢量為fSF的位移時(shí),可形成肖克萊不全位錯(cuò)+SISF的位錯(cuò)組態(tài)(圖4)。隨溫度提高到980℃,合金的層錯(cuò)能提高至281.21mJ/m2,剪切進(jìn)入γ′相的超位錯(cuò)可分解形成(1/2)〈110〉不全位錯(cuò),使原子在{111}面發(fā)生矢量為fA的位移,并在不全位錯(cuò)之間形成反相疇界,故可形成不全位錯(cuò)+反相疇界的位錯(cuò)組態(tài)(圖5)。若位錯(cuò)分解期間原子的位移矢量為fC,形成CSF,則需要更高的能量。

圖7 γ′相中{111}面的原子排列方式及位錯(cuò)分解示意圖 (a)原子排列方式;(b)平面位錯(cuò)芯;(c)非平面位錯(cuò)芯Fig.7 Schematic diagrams of the atoms arranged on {111} plane and dislocation decomposed (a)atoms arranging mode;(b)plane core of dislocation;(c)non-plane core of dislocation

4.3 形成與釋放K-W鎖的理論分析

位錯(cuò)組態(tài)的衍襯分析表明,合金在760℃和980℃蠕變期間均存在位錯(cuò)在γ′相的{100}面滑移,如圖4的位錯(cuò)C和圖5的位錯(cuò)E。對(duì)其形成原因的分析認(rèn)為,γ′相的易滑移面為{111}面,因此,蠕變期間剪切進(jìn)入γ′相的位錯(cuò)C和E首先沿{111}面滑移,隨蠕變進(jìn)行,剪切進(jìn)入γ′相的位錯(cuò)可由{111}面交滑移至{100}面,形成(1/2)〈110〉+APB的位錯(cuò)組態(tài),該組態(tài)是具有非平面芯結(jié)構(gòu)的不動(dòng)位錯(cuò),稱為K-W位錯(cuò)鎖。該位錯(cuò)鎖具有與引起Ni3Al相發(fā)生反常屈服行為相同的位錯(cuò)組態(tài),故可抑制位錯(cuò)的滑移和交滑移,阻礙位錯(cuò)運(yùn)動(dòng),因此,蠕變期間形成的K-W鎖可以提高合金的蠕變抗力。

但隨蠕變溫度的提高,可使K-W鎖中的位錯(cuò)重新被激活,使其在{111}面滑移[22]。由于K-W鎖的消失與原子的充分熱擴(kuò)散有關(guān),因此,溫度對(duì)合金的蠕變行為及變形機(jī)制具有決定性作用[23-26]。此外,添加難熔元素Re可以降低合金的層錯(cuò)能,提高合金的固溶強(qiáng)化程度,且元素之間的相互作用可進(jìn)一步降低其他元素的擴(kuò)散速率[27-28],故可以使含Re單晶合金出現(xiàn)反常屈服強(qiáng)度的峰值溫度由650℃提高到850℃[29],因此,元素Re可以大幅度提高合金的高溫蠕變抗力。加之,元素Re在Ni基合金的基體中形成短程有序的原子團(tuán)簇[30-31],也可阻礙位錯(cuò)運(yùn)動(dòng),降低其他元素的擴(kuò)散速率,是含Re合金在提高溫度變形期間使K-W鎖得以保留的另一主要原因。

另一方面,與瞬時(shí)拉伸變形相比,含Re合金蠕變期間形成K-W鎖的溫度由850℃提高到980℃,這與合金的應(yīng)變速率有關(guān)。含Re合金在大于850℃的瞬時(shí)拉伸變形期間形變量較大,可激活高密度位錯(cuò),并釋放出大量的形變熱,進(jìn)一步熱激活可促使K-W鎖中的位錯(cuò)重新沿{111}面滑移,釋放K-W鎖。與瞬時(shí)拉伸變形相比,含Re合金在980℃蠕變期間具有較低的應(yīng)變速率,當(dāng)蠕變位錯(cuò)由{111}面交滑移至{100}面,形成K-W鎖時(shí),激活少量的蠕變位錯(cuò)僅釋放少量的形變熱,故該形變熱不足以激活K-W鎖中的位錯(cuò),使其重新沿{111}面滑移。因此,含Re合金在980℃蠕變期間形成的K-W鎖能夠得以保留。但當(dāng)蠕變溫度進(jìn)一步提高到1070℃,盡管〈110〉超位錯(cuò)也可由{111}面交滑移至{100}面,形成K-W位錯(cuò)鎖,但由于蠕變溫度較高,熱激活可促使K-W鎖中的位錯(cuò)重新在{111}面滑移和交滑移,使K-W鎖中的位錯(cuò)得以釋放,故合金在1070℃蠕變期間未發(fā)現(xiàn)K-W鎖。

5 結(jié)論

(1)合金在760℃具有較低的層錯(cuò)能,其蠕變期間的變形機(jī)制是〈110〉超位錯(cuò)剪切進(jìn)入γ′相,其中,剪切進(jìn)入γ′相的〈110〉超位錯(cuò)發(fā)生分解,可形成(1/3)〈112〉超肖克萊不全位錯(cuò)+(SISF)層錯(cuò)的位錯(cuò)組態(tài);隨蠕變溫度提高到1070℃,合金的層錯(cuò)能提高,其蠕變機(jī)制是〈110〉螺、刃超位錯(cuò)切入γ′相,且剪切進(jìn)入γ′相的超位錯(cuò)不發(fā)生分解。

(2)合金在980℃的層錯(cuò)能介于760℃和1070℃之間,蠕變期間的變形機(jī)制是〈110〉螺、刃超位錯(cuò)剪切進(jìn)入γ′相,少量〈110〉超位錯(cuò)由{111}面交滑移至{100}面,可分解形成(1/2)〈110〉不全位錯(cuò)+反相疇界(APB)的位錯(cuò)組態(tài),該位錯(cuò)組態(tài)是具有非平面芯結(jié)構(gòu)的K-W鎖,可抑制位錯(cuò)的滑移和交滑移,提高合金的高溫蠕變抗力。

(3)高合金化的含Re合金在980℃蠕變期間仍可保留具有非平面芯結(jié)構(gòu)K-W位錯(cuò)鎖,其中,蠕變期間較低的應(yīng)變速率僅釋放較少的形變熱,不足以激活K-W鎖中的位錯(cuò)重新在{111}面滑移,是使其保留K-W鎖的主要原因。

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少兒科學(xué)周刊·兒童版(2021年22期)2021-12-11 21:27:59
帶你認(rèn)識(shí)原子
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大尺寸低阻ZnO單晶襯弟
大尺寸低阻ZnO單晶襯底
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