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工藝參數(shù)對直流磁控濺射法制備氧化鋁薄膜的試驗研究

2017-06-23 08:11武文革,張新宇,伏寧娜等
制造技術(shù)與機床 2017年3期
關(guān)鍵詞：磁控濺射氧化鋁薄膜

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