方方　王輝

2016年年初，第三屆“最美邳州人”頒獎儀式啟動，趙超榜上有名。

在邳州之外，他曾是歐洲微電子中心（1MEc）資深科學家，也是現(xiàn)任中國科學院微電子研究所集成電路先導工藝研發(fā)中心主任、國家“千人計劃”專家；在邳州，他為邳州經濟技術開發(fā)區(qū)集成電路產業(yè)鏈的形成獻智獻策，成為一位智珠在握、有口皆碑的“軍師”。

邳州人趙超，離開家鄉(xiāng)時還是個小小少年。隨后的30余年中，他從南京走到哈爾濱，告別山東變身歐洲“海漂”，又從比利時魯汶“飛回”中國北京。真正踩到邳州土地上時，已經是2012年了。這條回鄉(xiāng)之路，他走了很久。

從“海漂”到“海歸”

魯汶大學附近，就是世界著名的歐洲微電子研發(fā)中心（JMEc）。1994年起，趙超在魯汶大學攻讀博士學位，因為所從事的項目，經常與lMEC往來。臨近畢業(yè)時，他順理成章地想到要去IMEC謀職。

他申請的崗位與“銅互連”有關，在集成電路工藝中，這屬于后道工序。面試極具戲劇性，“銅互連”項目負責人對趙超說了“歡迎”之后，IMEC人事處卻開始挖自己人的墻角?！拔覀冞@里還有另外一個項目更需要你?！睂Ψ秸f的是高K/金屬柵項目。

上世紀90年代末，高K/金屬柵剛剛進入微電子界，IMEC自然把握住這個熱點，想要做出一番成績。剛巧，趙超在魯汶大學從事的氧化鋯、氧化鉿、氧化鋁等材料研發(fā)與高K/金屬柵工業(yè)化材料屬于同一體系。仔細考慮過后，趙超選擇加入IMEc的高K團隊，成為全世界第一批采用8英寸ALD設備開展高K/金屬柵研發(fā)的科學家。

“2004年之前的筆記本電腦放在桌子上，能把桌子烤糊。高K/金屬柵出現(xiàn)之前，工業(yè)界采用氮氧化硅層作為柵介質，但只有1納米左右，即使靜態(tài)也會大量漏電，功耗極高，如果不改換材料，到今天的技術代，產生的熱量早就把芯片熔化掉了。用高K/金屬柵代替之后，介質層的物理厚度會增加，減少漏電。這在當時是技術進步最大的一個瓶頸。如果沒有解決這個瓶頸，就不會有現(xiàn)在的28納米、16納米技術。”

自稱“撞“到項目中的趙超，更愿意用“偵察”來形容自己的工作?！癐MEC所從事的先導技術研究是在工業(yè)界的大部隊到來之前，把技術里可能存在的‘雷給排除掉，讓大部隊走得更快更穩(wěn)健，同時節(jié)省研發(fā)成本?！?/p>

IMEc的10年，從最早的8英寸線到后來的12英寸線，從前道的高K到后道的銅互連，趙超都做了比較系統(tǒng)的工作，先后發(fā)表了130多篇論文，取得了數(shù)項國際核心專利。然而科研之旅走得越順暢，他的歸國之心就越發(fā)強烈，曾數(shù)次借“春暉計劃”回國進行學術交流。

2009年10月，趙超飛往重慶參加科協(xié)舉辦的年會。聽聞這個消息，中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術研究所所長王曦院士希望他們一行人能到微系統(tǒng)所做學術交流。當時，02專項已經啟動，王曦院士為專項副總師，總師由中國科學院微電子所所長葉甜春擔任。趙超的簡歷發(fā)到微系統(tǒng)所后，或者是因為他的研究與02專項息息相關，王曦院士轉手就把簡歷傳給了葉甜春所長。結果是，趙超還在趕往上海的途中，葉甜春已經在微系統(tǒng)所等著他了。

作為02專項的總師，葉甜春談的是國家戰(zhàn)略和微電子所在其中承擔的任務——“22納米關鍵工藝技術先導研究與平臺建設”?！盀榱诉@個項目，國家投入幾個億，由微電子所牽頭，聯(lián)合清華大學、北京大學、復旦大學和微系統(tǒng)所，組織起一個全國攻關項目?，F(xiàn)在已經有一些來自JBM等企業(yè)的人才加入，但是我們還缺一個對工藝線有全面了解的人?！比~甜春說，“我覺得你特別適合，你能不能回國和我們一起做這件事？”

趙超被打動了。在國外做得再久，也還是想能為自己的國家做些事情。更何況，他熱愛具有挑戰(zhàn)性的事業(yè)，“人這一生，能有多少次機會從零開始建一條工藝線、組一個團隊、搭一個平臺？”

他決定迎接挑戰(zhàn)，回國。

初入邳州試身手

回國之后，趙超的工作很快步入正軌，他一邊忙著“先導工藝技術開放平臺”建設，一邊投入22納米技術關鍵工藝研發(fā)。日子過得緊張、忙碌而又充實。直到有一天接到一個電話，一個來自邳州市委組織部的電話。

電話內容很簡單，問候過后就是表示“歡迎有機會回邳州看看”。這樣的問候電話，整整持續(xù)了兩年，每個節(jié)假日都沒有落下過，趙超的心也在這一次次的電話里泛起了漣漪。

“邳州是徐州下屬的一個縣級市，我出生在那里，但是到7歲就離開了。”于趙超而言，邳州是沉淀在荏苒時光里的少年記憶。那里水資源充沛，按流向歸宿分為中運河、沂河、邳洪河三大水系，而不管是運河決口，還是沂河水下山，都會殃及邳州城，讓它身不由己地成為一條“洪水走廊”。在他的印象里，當?shù)厝饲锾熘环N高梁，因為就算遇到洪水，也能有一點收成。隔著電話，趙超仿佛又回到了少年時的邳州。但無法否認的是，時隔多年，對于邳州，他是既惦念又陌生的，這也令他不斷自問：“我到底能為邳州做點什么？”

2012年，江蘇省組織了一次與中國科學院的人才對接活動，地點定在北京西直門。趙超在那里見到了時任邳州組織部干部科科長的宋勇。在宋勇口中，他得知邳州有一家“博康信息化學品有限公司”（以下簡稱“博康”），生產光刻膠原材料，產品已經出口到了日本。

趙超當然知道光刻膠是集成電路產業(yè)中最關鍵的材料之一，他沒想到的是印象里的農業(yè)大縣居然在集成電路相關產業(yè)上做出了這樣的成績。在宋勇的牽線下，趙超結識了博康董事長傅志偉。

說起來，兩人也算是南京大學校友。傅志偉的創(chuàng)業(yè)是從醫(yī)藥中間體開始的。所謂醫(yī)藥中間體，實際上是一些用于藥品合成工藝過程中的化工產品。這種化工產品，不需要藥品生產許可證，可以在普通的化工廠生產，可用于藥品的合成?！坝幸淮?，一家日本企業(yè)跟他們說，你們可以試著開發(fā)一些金剛烷系列的材料，如果達到了純度，就可以考慮用你們的產品。從開始嘗試到接下訂單，他們經歷了艱難的技術創(chuàng)新過程，最終在提純工藝上做出了突破，將粘污雜質的控制挪到了源頭上，一下子就降低了生產成本，提高了產率。他們的產品也逐漸在日本市場上占據(jù)了穩(wěn)定的市場份額?！壁w超介紹說。

博康當然也有自己的苦惱，他們能夠生產用于集成電路制造的原材料，但以化工起家的他們對集成電路行業(yè)的了解有限。如何在已有成績的基礎上謀求更大的發(fā)展成為他們必須解決的急迫問題。傅志偉很誠懇地向自己的老鄉(xiāng)兼校友求援。

“既然與我的專業(yè)相關，我一定不遺余力。”在接洽過程中，趙超表示。不久，他帶著團隊來到邳州。經過細致地考察，他在先進光刻膠的開發(fā)和市場戰(zhàn)略上為博康制定了一份路線圖——在穩(wěn)定現(xiàn)有產品的基礎上，跳出僅生產光刻膠原材料的圈子，從配方膠著手生產應用級別的光刻膠。第一步，先瞄準電子束光刻膠。“與大生產用的紫外光刻膠相比，電子束光刻膠的市場規(guī)模要小很多，但進入的門檻也就比較低。由于種種原因，國外在電子束光刻膠上對我們禁運?！痹谶@方面取得突破，既能夠帶來一定的經濟效益，還能夠填補國內空白，使企業(yè)在業(yè)內產生一定的影響力，是初入光刻膠領域的最佳選擇?！瓣P鍵是通過電子束光刻膠，把博康的團隊建設起來，站穩(wěn)了腳步之后再開發(fā)生產用量比較大的光刻膠，形成一個良性循環(huán)。”他補充道。

之后，趙超直接促成了博康與中國科學院微電子所的技術合作，建成了博康一中科院微電子所聯(lián)合實驗室，與博康一起為先進光刻材料研發(fā)努力?，F(xiàn)在，博康的電子束光刻膠和248納米光刻膠均已實現(xiàn)批量銷售，企業(yè)最新研發(fā)的光刻膠單體實現(xiàn)了產業(yè)化生產并大批量出口。用業(yè)界的話說，博康的光刻膠單體和光刻膠產品的質量和性能已經達到甚至超過國外廠商的同類產品，解決了中國光刻技術發(fā)展在源頭材料方面的瓶頸問題，部分光刻膠單體和光刻膠產品的技術指標達到世界先進水平?！拔抑皇歉悼傇趹?zhàn)略層面上做了一點點工作，還是博康的團隊做得好?！泵鎸Σ┛低碌目洫?，趙超淡然地說。

一個游子的“邳州夢”

就在與博康討論光刻膠發(fā)展路線的時候，一次偶然，微電子所的同事推薦了一個做激光直寫光刻機的團隊。當時，該團隊遇到了一系列困難，正處在解散的邊緣?！捌鋵崳@個團隊的技術成熟度很高，只是經營狀況不太好，如果能夠把這個團隊穩(wěn)定住，踢出面向市場的‘臨門一腳，完全可能培養(yǎng)出一個很健康的企業(yè)來?！?/p>

察覺到這一點，趙超和他微電子所的同事立刻行動起來。在他們的協(xié)調之下，博康與該團隊達成了共識，僅僅兩個月，組建了新公司“影速”，落戶邳州經濟技術開發(fā)區(qū)。經過兩年多的運營，影速已經成長為一個實力雄厚朝氣蓬勃的有行業(yè)影響的設備企業(yè)。除了邳州的生產基地，影速還在無錫開設了研發(fā)中心，目前，已經有20多臺設備銷售到生產企業(yè)，創(chuàng)造了幾千萬的利潤。影速光刻機的性能，即使是與德國競爭對手的老牌產品打擂臺，也毫不遜色。更何況，他們的設備物美價廉，從性價比上來說更容易在國際同類產品中脫穎而出。“前些天在臺灣的展會上，還接到3臺訂單，正式進入臺灣市場?！壁w超深深地為影速的成績自豪。

影速的發(fā)展，使博康在集團化的道路上越走越遠。近年來，博康摘下了“江蘇省雙創(chuàng)團隊”“江蘇省博士后創(chuàng)新實踐基地”等榮譽，多次被授予“邳州重大貢獻獎”，成為集成電路材料產業(yè)技術創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟會員，被認定為江蘇省企業(yè)技術中心和國家高新技術企業(yè)，成為蘇北地區(qū)一顆冉冉升起的明星。最近，趙超又幫助博康收購了位于英國劍橋的一家高科技企業(yè)，播下了博康又一顆希望的種子。

博康，是趙超參與邳州產業(yè)化發(fā)展工作的第一個案例，也是他在產學研結合上一個成功的嘗試。之后，有更多的企業(yè)在他的策劃和引薦下，落地邳州，生根發(fā)芽。2015年9月，江蘇魯汶儀器有限公司在邳州創(chuàng)立。該公司的海外團隊正是趙超借由在比利時的資源優(yōu)勢引入邳州的。到201 6年，魯汶儀器已經下線了兩個中國首臺套設備，建立了諾貝爾獎獲得者工作站，獲評江蘇省雙創(chuàng)團隊，并在創(chuàng)建一年之內，就實現(xiàn)了兩臺套設備的銷售。值得一提的是，魯汶儀器在邳州的發(fā)展也引起了比利時另一家企業(yè)實唯半導體的關注。“實唯是我在IMEc的同事創(chuàng)立的，現(xiàn)在也已經在邳州扎根?！?/p>

“引智引資”，是趙超回到邳州之后一直做的事情，他認為自己是在搭建一座橋梁，使邳州產業(yè)界和前沿技術之間實現(xiàn)信息對等交流，幫助他們做出更專業(yè)、更具戰(zhàn)略眼光的判斷。授人以魚不如授人以漁，在更多時候，趙超更希望在邳州播下的是一顆“火種”，將他對集成電路產業(yè)的理解傳遞給邳州。此前，他所做的“半導體技術基礎知識”講座，為邳州經濟技術開發(fā)區(qū)的干部普及了該產業(yè)的“常識”，也為開發(fā)區(qū)的招商引資活動奠定了基礎。而后，他又積極參與邳州市委的“精進書院”活動，在其中主講了“全球集成電路產業(yè)發(fā)展狀況及邳州面臨的機遇與挑戰(zhàn)”。

“講座涉及集成電路和半導體相關產業(yè)在全球范圍內的發(fā)展概況，并對該產業(yè)鏈在邳州的戰(zhàn)略性發(fā)展機遇和需要解決的問題進行分析。”趙超總結了報告的內容。至今，他還為邳州市干部的工作和學習熱情所感動。他談起當時作報告的場景：他在臺上講邳州發(fā)展半導體產業(yè)的優(yōu)勢、劣勢和規(guī)劃，臺下聽講的干部反響熱烈，回應積極，結果這場報告一下子講了四個半小時，臺上臺下都忘記了午飯時間。

報告后，邳州開發(fā)區(qū)開始編制半導體產業(yè)發(fā)展路線圖。開發(fā)區(qū)領導要求參加編寫路線圖的每一位干部都要對編寫的內容進行詳細系統(tǒng)的介紹。那時候，趙超多次在半夜接到邳州的電話，請他就某一個問題進行把關。一場場匯報之后，邳州經濟技術開發(fā)區(qū)負責招商引資的干部們都成了行業(yè)專家，令前來邳州洽談落戶的業(yè)內企業(yè)家驚訝不已。

“邳州這樣的地方，最大的劣勢是人才匱乏?！壁w超說。在他看來，徐州通了高鐵之后，與北京、上海位于3小時交通圈內，有利于利用兩地的智力資源，可以考慮將研發(fā)中心放在大城市，生產基地放在邳州。這一個便利點，在邳州高鐵建設提上日程之后將更為明顯。“邳州政府也在部署建立智庫，為企業(yè)延攬人才。有了人才隊伍，才能把產業(yè)做起來，有了產業(yè)，才能把更多的人才吸引進來?！?/p>

這幾年來，趙超時常往返于北京和邳州之間。回邳州的這幾年，他感動于邳州干部的敬業(yè)氛圍。“老家人是真的想做實事，也真的把當初的戰(zhàn)略計劃看作是他們自己的‘邳州夢，最終落實成了開發(fā)區(qū)里孵化的一個個企業(yè)?！薄皼]有我們當初的見面，就沒有現(xiàn)在邳州的半導體產業(yè)?！壁菔形M織部如此對趙超說。但在趙超心里，這其實也是他的“邳州夢”。這個邳州是曾經養(yǎng)育過他的邳州，看著這個曾經貧困的故鄉(xiāng)一天天改變著模樣，而這其中也有自己做出的那么一點點貢獻，他心里充滿快樂。

雙城記中的雙贏

2009年至2014年，承擔國家科技重大專項02專項“22納米關鍵工藝技術先導研究與平臺建設”，擔任“先導工藝技術開放平臺“首席科學家。項目歷時5年，參研人數(shù)數(shù)百人，完成了國際水平的工藝研發(fā)平臺建設和22納米技術關鍵工藝解決方案。

2012年至2015年，承擔國家科技重大專項02專項“16/14納米基礎技術研究”，擔任項目負責人。項目歷時3年，完成了16納米FinFETs技術研發(fā)，成果達到國際先進水平。

新材料，新工藝的探索性研究，high-k金屬柵，高遷移率溝道，新刻蝕工藝、清洗工藝，后柵工藝中的難點問題……

回國以來，趙超帶著他的先導工藝研發(fā)中心真刀實槍地打響了大大小小的戰(zhàn)役。這樣緊鑼密鼓的日程里，還要在北京和邳州之間上演“雙城記”，堅持下來著實不易。趙超自己卻覺得沒什么，“對邳州和研發(fā)中心來說，我做的事情是雙贏的”。

他所說的“雙贏”最早來自對博康光刻膠戰(zhàn)略的策劃?！白龉饪棠z需要有大型光刻機設備來對其質量進行驗證。但對公司來說，要建設安裝設備的超凈車間，培養(yǎng)專業(yè)工藝團隊都需要很多資金和時間。采購這種光刻機價值兩千多萬，如何安置是個大問題。”為了解決這個問題，博康最終決定把設備放在先導工藝研發(fā)中心的工藝線上?！斑@樣一來，運用該設備，我們不僅可以及時為博康提供驗證服務，還可以支撐我們的日?？蒲泄ぷ??！壁w超說，這些設備構成了他們的聯(lián)合實驗室的重要基礎。

“能夠扶持地方產業(yè)的發(fā)展，所（微電子所）里也很支持。”趙超補充道。在隨后的幾年，中國科學院微電子所和邳州建立了良好的對接關系，而影速和魯汶儀器等公司入駐邳州，微電子所也入股其中，從技術和人員上進行全方位的支持。

幾年下來，趙超團隊建立起自主知識產權引領下的科研模式，始終堅持“專利先行”的戰(zhàn)略?！皩＠皇钦撐?，是經濟利益?！彼麄兊哪繕耸亲稣嬲鼙Ｗo中國產業(yè)的“專利池”，為國內企業(yè)贏得與國外領先企業(yè)實現(xiàn)專利交互授權的機會。目前，據(jù)國際上公開發(fā)表的技術發(fā)展研究報告，中心在FinFET領域的專利族數(shù)量排第十一，質量全球第一。研發(fā)中心的1200項專利已實現(xiàn)使用權向企業(yè)的轉移。他們也把先導工藝研發(fā)中心建成了一個開放性的平臺，超凈廠房和8英寸研發(fā)線向全社會開放，為全國幾十家企業(yè)，提供產品級和工藝級的研發(fā)服務。

“能在這么短的時間里，建成這樣的平臺為企業(yè)提供服務，你們是真做事的人！”每次聽到國外的同行對他們工作的這種評價，趙超都很欣慰。作為研發(fā)中心的掌舵者，他還將一如既往地努力，把研發(fā)平臺這條船駛向更廣闊的海面。