2015年中國半導體設備經濟運行分析和2016年展望

中國電子專用設備工業(yè)協(xié)會金存忠

2015年，在中央擴大內需、穩(wěn)增長、淘汰落后產能的各項政策的推動和國家科技專項的支持下，中國半導體設備行業(yè)加快了自主創(chuàng)新和轉型升級的步伐，繼續(xù)呈現快速增長態(tài)勢。

根據中國電子專用設備工業(yè)協(xié)會對國內34家主要半導體設備制造商的統(tǒng)計，2015年半導體設備完成銷售收入47.17億元，同比增長16.38%；利潤總額10.53億元，同比增長24.2%；出口交貨值6.62億元，同比增長50.1%。

（一）2015年半導體設備分類銷售情況

（二）2015年中國半導體設備十強單位（按銷售收入排序）

中國電子專用設備工業(yè)協(xié)會根據中國34家半導體設備制造商統(tǒng)計，2015年中國半導體設備十強企業(yè)完成銷售收入37.63億元，同比增長25%。其中：集成電路設備銷售收入18.61億元，同比增長56.6%；太陽能電池生產設備12.82億元，同比增長1.75%；發(fā)光二極管設備4.72億元，同比增長12.11%。

2015年中國半導體設備十強企業(yè)完成出口交貨值6.16億元，同比增長67.8%。其中，集成電路設備出口5.77億元，同比增長63.9%。

（三）2015年中國半導體設備新進展

一批高端集成電路設備研制成功并成功進入大規(guī)模集成電路生產線

北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司研制的300 mm、28 nm金屬物理氣相沉積系統(tǒng)和高密度等離子硅刻蝕機、中微半導體設備（上海）有限公司研制的雙反應臺刻蝕除膠一體機和22～14 nm單反應臺等離子體刻蝕機、北京中科信電子裝備有限公司研制的90～65 nm大角度離子注入機、七星華創(chuàng)電子股份有限公司研制的300 mm（90～28 nm）立式氧化爐、盛美半導體設備（上海）有限公司研制的單片兆聲波清洗機、北京中電科電子裝備有限公司研制的倒裝焊接機等一批高端集成電路設備成功進入大規(guī)模集成電路生產線將迅速提高國產集成電路設備在市場的占有率。

智能化、自動化的太陽能電池新設備成功進入太陽能電池片生產線，成為太陽能電池片生產企業(yè)改擴建生產線的首選

浙江晶盛機電股份有限公司研制的金剛線單晶硅棒切磨加工一體機可以有效提高硅材料切割質量與效率，減少了太陽能電池用硅片的成本。

浙江晶盛機電股份有限公司研制的8英寸全自動、智能化區(qū)熔硅單晶爐打破了我國大直徑區(qū)熔爐技術長期被國外企業(yè)壟斷的局面，生產的太陽能電池片光電轉換效率可以達到24%，具有顯著的經濟、社會效益和重要的新能源戰(zhàn)略意義。

中國電子科技集團公司第四十八研究所研制的國內最大口徑、高產能（每管每批336片）的太陽能電池片生產設備PECVD在用戶生產線上實現量產，創(chuàng)業(yè)界高產能記錄，有效地降低了太陽能電池片的成本。

北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司研制的負壓擴散爐，單管產能已經達到1000片，除實

現了高產能外，設備還呈現出高方阻工藝結果穩(wěn)定、單片制造成本減半、設備運行消耗降低、維護成本降低等諸多優(yōu)點，獲得了整個光伏行業(yè)的普遍認可，成為改擴建生產線的首選裝備。

半導體照明制造關鍵設備實現了產業(yè)化

中晟光電設備（上海）股份有限公司研制的具有自主知識產權的金屬有機化學氣相沉積設備（MOCVD），是用于半導體發(fā)光二極管（LED）芯片外延工藝的關鍵設備。2015年設備獲得市場檢驗和認可，實現了產業(yè)化，擺脫了我國MOCVD設備依賴進口的被動局面。

（四）2016年半導體設備制造業(yè)發(fā)展展望

1、集成電路設備將繼續(xù)保持快速增長

2015年在02專項和國家集成電路發(fā)展基金的支持下，更多的國產集成電路設備將進入大生產線，國產集成電路設備的國內外市場將繼續(xù)得到增長。

2、太陽能電池生產設備將快速增長

2016年國家繼續(xù)擴大國內光伏市場，光伏行業(yè)年度增長率目標將超過，中國已成為全球光伏最大的終端市場，光伏企業(yè)將加快淘汰落后生產線設備擴大產能，將給我國太陽能電池設備制造商帶來了新的發(fā)展機遇。

3、LED生產線設備受LED市場的影響，增長趨緩。

預計，2016年主要半導體設備制造商銷售收入將增長20%左右，達到57億元左右。