陳 峰 張偉國(guó) 李志剛 張毅楠 云蘇和

(內(nèi)蒙古神舟硅業(yè)有限責(zé)任公司技術(shù)發(fā)展部，呼和浩特 010070)

先進(jìn)控制在三氯氫硅精餾過(guò)程中的應(yīng)用

陳 峰 張偉國(guó) 李志剛 張毅楠 云蘇和

(內(nèi)蒙古神舟硅業(yè)有限責(zé)任公司技術(shù)發(fā)展部，呼和浩特 010070)

以三氯氫硅精餾工序?yàn)閼?yīng)用試點(diǎn)，設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了先進(jìn)控制和優(yōu)化技術(shù)，開(kāi)發(fā)了三氯氫硅精餾過(guò)程先進(jìn)控制系統(tǒng)。應(yīng)用結(jié)果表明：先進(jìn)控制系統(tǒng)投運(yùn)后，從過(guò)程控制與優(yōu)化的角度進(jìn)一步提高了三氯氫硅精餾過(guò)程的自動(dòng)化水平，產(chǎn)品質(zhì)量和收率得到提高，生產(chǎn)過(guò)程安全平穩(wěn)，實(shí)現(xiàn)了三氯氫硅精餾過(guò)程的精細(xì)化控制。

三氯氫硅精餾過(guò)程 先進(jìn)控制 DCS系統(tǒng) 以太網(wǎng)

目前，多晶硅裝置普遍采用Honeywell EPKS集散控制系統(tǒng)和ABB AC800F集散控制系統(tǒng)，能夠?qū)崿F(xiàn)主要工藝參數(shù)(溫度、壓力、流量及液位等)的顯示、記錄、累計(jì)和報(bào)警功能與設(shè)備運(yùn)行聯(lián)鎖功能，并對(duì)整個(gè)生產(chǎn)過(guò)程進(jìn)行操作和控制。但是，從目前的控制結(jié)果來(lái)看，裝置的生產(chǎn)操作總體上仍以人工經(jīng)驗(yàn)為主，存在操作不及時(shí)、調(diào)節(jié)幅度不匹配等問(wèn)題。而且不同班組的操作習(xí)慣和操作方法仍有顯著差異，因此，容易產(chǎn)生工藝指標(biāo)波動(dòng)大、產(chǎn)品純度不穩(wěn)定、產(chǎn)品收率低的情況。

內(nèi)蒙古神舟硅業(yè)有限責(zé)任公司(以下簡(jiǎn)稱神舟硅業(yè))多晶硅生產(chǎn)過(guò)程采用的是改良的西門子法工藝，該工藝主要包括三氯氫硅的合成、三氯氫硅的精餾提純、三氯氫硅的氫還原、合成尾氣的回

收和四氯化硅的氫化5個(gè)環(huán)節(jié)。為進(jìn)一步提高多晶硅裝置的自動(dòng)化水平，改善產(chǎn)品質(zhì)量，降低消耗，實(shí)現(xiàn)挖潛增效，神舟硅業(yè)以三氯氫硅精餾工序?yàn)閼?yīng)用試點(diǎn)，開(kāi)發(fā)實(shí)施先進(jìn)控制技術(shù)，從過(guò)程控制與優(yōu)化的角度進(jìn)一步提高精餾過(guò)程的自動(dòng)化水平，提高產(chǎn)品收率。

1 三氯氫硅精餾工序工藝簡(jiǎn)介①

多晶硅生產(chǎn)過(guò)程中三氯氫硅精餾工序的工藝流程簡(jiǎn)圖如圖1所示。精餾塔系中，粗餾二級(jí)塔、精品1塔、精品2塔為組分粗餾系統(tǒng)，精品3塔、精品4塔和末級(jí)脫重塔為提純精餾系統(tǒng)。各塔的功能分別為：粗餾二級(jí)塔除硅粉和重沸物，精品1塔、精品3塔和末級(jí)脫重塔除重，精品2塔和精品4塔除輕。

圖1 三氯氫硅精餾工序的工藝流程簡(jiǎn)圖

2 三氯氫硅精餾工序的先進(jìn)控制

2.1先進(jìn)控制技術(shù)

模型預(yù)測(cè)控制是一種基于模型的閉環(huán)開(kāi)放式先進(jìn)控制策略，具有3個(gè)基本特征：模型預(yù)測(cè)、滾動(dòng)優(yōu)化和反饋校正。模型預(yù)測(cè)控制算法在處理復(fù)雜的多變量控制問(wèn)題時(shí)具有較大優(yōu)勢(shì)，適用于含有時(shí)滯、約束的多變量過(guò)程。

智能控制以控制理論為基礎(chǔ)，主要包含模糊邏輯控制、神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)控制和專家控制。對(duì)于一些存在嚴(yán)重不確定性和高度復(fù)雜性的過(guò)程，智能控制理論和方法表現(xiàn)出靈活的決策方式和應(yīng)變能力。

軟測(cè)量技術(shù)依據(jù)某種最優(yōu)化準(zhǔn)則，選擇與被估變量相關(guān)的一組可測(cè)變量，構(gòu)造某種以可測(cè)變量為輸入、被估變量為輸出的數(shù)學(xué)模型，并用計(jì)算機(jī)軟件實(shí)現(xiàn)重要過(guò)程變量的估計(jì)[1～3]。

2.2先進(jìn)控制系統(tǒng)總體結(jié)構(gòu)

筆者設(shè)計(jì)的三氯氫硅精餾工序先進(jìn)控制系統(tǒng)的總體結(jié)構(gòu)如圖2所示。

圖2 三氯氫硅精餾工序先進(jìn)控制系統(tǒng)的總體結(jié)構(gòu)框圖

2.3先進(jìn)控制策略

2.3.1裝置運(yùn)行的安全性和穩(wěn)定性

先進(jìn)控制應(yīng)充分考慮精餾塔裝置冷卻設(shè)備的性能和塔釜加熱性能，避免冷卻、加熱負(fù)荷不合適，導(dǎo)致塔壓偏高或加熱負(fù)荷過(guò)大進(jìn)而引起設(shè)備運(yùn)行不正常。同時(shí)，應(yīng)克服內(nèi)外部干擾因素和內(nèi)部物料交叉換熱耦合，實(shí)現(xiàn)冷、熱物流的物料平衡和能量平衡，并通過(guò)動(dòng)態(tài)優(yōu)化控制，確保裝置安全穩(wěn)定運(yùn)行。

2.3.2平穩(wěn)控制和“卡邊”優(yōu)化

根據(jù)三氯氫硅精餾工序工藝特點(diǎn)和過(guò)程控制現(xiàn)狀，總結(jié)工藝專家和優(yōu)秀操作員的經(jīng)驗(yàn)，采用先進(jìn)控制技術(shù)，建立各塔先進(jìn)控制器，將過(guò)程模型和專家控制相結(jié)合，實(shí)現(xiàn)對(duì)過(guò)程關(guān)鍵工藝參數(shù)變化敏感區(qū)域的溫度、液位、壓力及冷后溫度等的平穩(wěn)控制和分級(jí)優(yōu)化，保持系統(tǒng)內(nèi)的物料平衡和能量平衡，穩(wěn)定生產(chǎn)工況。同時(shí)，適應(yīng)上下游生產(chǎn)負(fù)荷變化的需求，實(shí)現(xiàn)工況漸變調(diào)整，防止工況大幅波動(dòng)，保證產(chǎn)品純度。為此，采用流程模擬技術(shù)，結(jié)合精餾原理和實(shí)際生產(chǎn)現(xiàn)狀，對(duì)精餾塔的分離性能、節(jié)能潛力等進(jìn)行評(píng)估分析，找到系統(tǒng)的最優(yōu)工藝參數(shù)，并對(duì)相關(guān)工藝參數(shù)、回流比等進(jìn)行“卡邊”優(yōu)化，使各項(xiàng)工藝指標(biāo)趨向低能耗、高收率的穩(wěn)態(tài)工作點(diǎn)。

2.3.3產(chǎn)品質(zhì)量控制

針對(duì)粗餾系統(tǒng)中的粗餾二級(jí)塔、精品1塔和精品2塔，根據(jù)精餾原理和精餾塔組分、溫度分布特點(diǎn)，特別關(guān)注組分變化敏感區(qū)域，結(jié)合實(shí)際生產(chǎn)過(guò)程數(shù)據(jù)和餾分化驗(yàn)數(shù)據(jù)，考慮精餾系統(tǒng)內(nèi)外部干擾因素，回歸建立塔頂或塔釜采出餾分組分含量與精餾塔運(yùn)行數(shù)據(jù)的軟測(cè)量模型，實(shí)時(shí)預(yù)測(cè)實(shí)際生產(chǎn)過(guò)程中組分含量隨工況的變化趨勢(shì)。先進(jìn)控制器自動(dòng)調(diào)整回流量、加熱蒸汽量、塔頂采出量及塔底采出量等，實(shí)現(xiàn)對(duì)塔釜、塔頂餾分組分含量的精細(xì)化控制，保證輕、重組分的分離效果，并盡可能減少三氯氫硅組分的切出，為最終的產(chǎn)品質(zhì)量和產(chǎn)品收率提供保障。

針對(duì)精餾系統(tǒng)中的精品3塔、精品4塔和末級(jí)脫重塔，首先，設(shè)計(jì)并搭建各精餾塔先進(jìn)控制器，克服內(nèi)外部干擾因素，實(shí)現(xiàn)各精餾塔的總體物料平衡和能量平衡，提高綜合自動(dòng)化水平。其次，統(tǒng)計(jì)分析下游最終產(chǎn)品質(zhì)量化驗(yàn)分析數(shù)據(jù)與精餾過(guò)程響應(yīng)滯后時(shí)間、精餾塔工況的對(duì)應(yīng)關(guān)系，并通過(guò)回歸分析建立具有普遍規(guī)律的關(guān)系模型，將之納入先進(jìn)控制器，根據(jù)產(chǎn)品質(zhì)量的波動(dòng)情況實(shí)時(shí)優(yōu)化調(diào)節(jié)精品3塔、精品4塔和末級(jí)脫重塔的回流比，確保精餾產(chǎn)品質(zhì)量，提高三氯氫硅收率。同時(shí)，在一定程度上改善回流比嚴(yán)重過(guò)剩的現(xiàn)狀，適當(dāng)減小操作彈性，充分挖掘裝置潛力，實(shí)現(xiàn)節(jié)能降耗。

2.3.4智能診斷與監(jiān)控

利用精餾生產(chǎn)運(yùn)行過(guò)程的實(shí)時(shí)信息和歷史信息，運(yùn)用多維數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)分析和數(shù)據(jù)挖掘技術(shù)，建立工況、設(shè)備的智能診斷與監(jiān)控策略，實(shí)現(xiàn)對(duì)生產(chǎn)中可能出現(xiàn)的儀表故障、工藝指標(biāo)超限等異常狀況進(jìn)行報(bào)警和處理，保證生產(chǎn)運(yùn)行安全。

2.4先進(jìn)控制器的設(shè)計(jì)

筆者以三氯氫硅精餾工序中的粗餾二級(jí)塔為例，介紹先進(jìn)控制器的設(shè)計(jì)思路。

2.4.1控制器變量選擇

粗餾二級(jí)塔主要進(jìn)行硅粉、部分重沸物雜質(zhì)與四氯化硅、三氯氫硅、二氯二氫硅、低沸物雜質(zhì)的分離。根據(jù)其生產(chǎn)工藝特點(diǎn)，粗餾二級(jí)塔相關(guān)控制變量的耦合關(guān)系如圖3所示。

圖3 粗餾二級(jí)塔控制變量的耦合關(guān)系

2.4.2控制器模型

通過(guò)對(duì)粗餾二級(jí)塔的階躍測(cè)試和生產(chǎn)數(shù)據(jù)的深入分析，筆者采用APC-Adcon先進(jìn)控制軟件對(duì)其控制器進(jìn)行模型辨識(shí)，并采用歷史數(shù)據(jù)對(duì)模型進(jìn)行擬合驗(yàn)證，以得到符合粗餾二級(jí)塔工藝特性和過(guò)程控制要求的控制模型。粗餾二級(jí)塔控制器模型矩陣見(jiàn)表1。

表1 粗餾二級(jí)塔控制器模型矩陣

2.4.3控制器參數(shù)設(shè)計(jì)

筆者采用APC-Adcon先進(jìn)控制軟件中的多變量預(yù)測(cè)控制算法建立粗餾二級(jí)塔多變量約束控制器模型，并將辨識(shí)得到的模型作為控制器的內(nèi)部模型，同時(shí)設(shè)置合適的參考軌跡、操作變量約束、被控變量約束、優(yōu)化方法、控制結(jié)構(gòu)和一系列相關(guān)控制參數(shù)，實(shí)現(xiàn)對(duì)粗餾二級(jí)塔各工藝指標(biāo)的分級(jí)優(yōu)化控制。

操作變量控制參數(shù)包括控制等效偏差、平滑系數(shù)、控制時(shí)域、優(yōu)化目標(biāo)方法、優(yōu)化成本、操作上下限、工程上下限、有效上下限、優(yōu)化最大/最小增量及控制最大/最小增量等。

被控變量控制參數(shù)包括控制權(quán)重、時(shí)滯、最大/最小優(yōu)化增量、最大/最小控制增量、操作約束上下限、操作約束等級(jí)、操作約束上下限等級(jí)、操作約束控制等效偏差、設(shè)定值優(yōu)化等級(jí)、設(shè)定值區(qū)域上下限及設(shè)定值優(yōu)化等效偏差等。

被控變量的優(yōu)化等級(jí)與控制模式見(jiàn)表2。

表2 被控變量的優(yōu)化等級(jí)與控制模式

粗餾二級(jí)塔先進(jìn)控制器通過(guò)實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)優(yōu)化調(diào)節(jié)進(jìn)料流量、再沸器蒸汽流量、回流量、塔頂采出流量、塔釜采出流量及冷卻水調(diào)節(jié)閥開(kāi)度等操作變量，以克服蒸汽壓力波動(dòng)和進(jìn)料組分波動(dòng)，實(shí)現(xiàn)粗餾二級(jí)塔整體物料平衡和能量平衡；通過(guò)平穩(wěn)控制塔釜液位和回流罐液位，實(shí)現(xiàn)塔內(nèi)溫度的合理分布，保證塔釜溫度和塔頂溫度平穩(wěn)，提高分離精度。在此基礎(chǔ)上優(yōu)化回流比，使再沸器蒸汽流量與回流量合理匹配，保證分離效果，維持經(jīng)濟(jì)運(yùn)行。

3 先進(jìn)控制的實(shí)現(xiàn)

3.1DCS系統(tǒng)要求

三氯氫硅精餾工序先進(jìn)控制系統(tǒng)建立在DCS常規(guī)控制的基礎(chǔ)上，要求裝置各控制回路必須配置性能良好的執(zhí)行機(jī)構(gòu)(調(diào)節(jié)閥)和測(cè)量?jī)x表。

DCS系統(tǒng)必須具備標(biāo)準(zhǔn)OPC接口，先進(jìn)控制上位機(jī)能夠通過(guò)OPC接口采集DCS系統(tǒng)上裝置的全部測(cè)量數(shù)據(jù)。同時(shí)要求OPC接口具有數(shù)據(jù)讀寫功能，且性能穩(wěn)定，滿足先進(jìn)控制系統(tǒng)所需的通信點(diǎn)數(shù)和通信速率要求[4～6]。本項(xiàng)目要求OPC接口軟件支持1 000點(diǎn)數(shù)值的讀寫功能，并至少滿足每秒500點(diǎn)數(shù)據(jù)讀取和每秒50點(diǎn)數(shù)據(jù)寫入的要求。

DCS系統(tǒng)必須具備自定義建點(diǎn)、編程和畫面組態(tài)功能，并要求DCS控制站具有一定的運(yùn)算余量，確保上述內(nèi)容加載后整個(gè)系統(tǒng)的安全平穩(wěn)運(yùn)行。

3.2軟硬件平臺(tái)結(jié)構(gòu)

先進(jìn)控制系統(tǒng)的硬件結(jié)構(gòu)如圖4所示。先進(jìn)控制系統(tǒng)上位機(jī)通過(guò)HUB或交換機(jī)與安裝有標(biāo)準(zhǔn)OPC接口軟件的服務(wù)器連接在以太網(wǎng)上，使上位機(jī)與DCS現(xiàn)場(chǎng)控制站之間建立物理鏈接完成數(shù)據(jù)傳送。

圖4 先進(jìn)控制系統(tǒng)的硬件結(jié)構(gòu)

先進(jìn)控制系統(tǒng)上位機(jī)安裝的軟件有Windows Server 2008操作系統(tǒng)、中控APC-iSYS先進(jìn)控制平臺(tái)軟件和APC-Suite先進(jìn)控制系列軟件。DCS系統(tǒng)工程師站或操作站上安裝相應(yīng)的OPC接口軟件。上位機(jī)通過(guò)OPC接口軟件與DCS系統(tǒng)工程師站連接，并通過(guò)內(nèi)部協(xié)議建立數(shù)據(jù)傳送的物理鏈接(圖5)[7]。

圖5 上位機(jī)與DCS系統(tǒng)工程師站的連接示意圖

3.3安全策略與操作界面

為實(shí)現(xiàn)先進(jìn)控制與常規(guī)控制之間的切換，需要在DCS系統(tǒng)上建立實(shí)施先進(jìn)控制所需的中間變量，包括DCS通信保護(hù)程序相關(guān)位號(hào)、控制器開(kāi)關(guān)位號(hào)、報(bào)警位號(hào)和先進(jìn)控制系統(tǒng)位號(hào)。

通過(guò)在DCS上建立通信監(jiān)控程序，使DCS系統(tǒng)具備自定義編程功能。當(dāng)發(fā)生上位機(jī)和DCS之間通信中斷或上位機(jī)死機(jī)等異常狀況時(shí)，可及時(shí)切除先進(jìn)控制系統(tǒng)，并給出報(bào)警提示，以便操作人員進(jìn)行處理，保障系統(tǒng)安全。

安全切換程序的主要目的是實(shí)現(xiàn)先進(jìn)控制系統(tǒng)與常規(guī)控制系統(tǒng)的切換工作。為了使先進(jìn)控制系統(tǒng)具有良好的靈活性，先進(jìn)控制系統(tǒng)每一回路均可自由切換。

先進(jìn)控制系統(tǒng)操作界面主要實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)總開(kāi)關(guān)、各控制變量回路上下限和各分系統(tǒng)開(kāi)關(guān)的輸入與顯示功能，還包括各子控制器開(kāi)關(guān)的輸入與顯示、控制器運(yùn)行狀態(tài)監(jiān)控和其他相關(guān)報(bào)警功能。整個(gè)操作界面的設(shè)計(jì)思路應(yīng)盡可能與操作人員的操作方式相符。

4 項(xiàng)目實(shí)施效果

4.1工藝參數(shù)運(yùn)行平穩(wěn)性分析

還原精餾一級(jí)塔T0621A和T0621B在兩種控制系統(tǒng)下的工藝參數(shù)對(duì)比分別如圖6、7所示?？梢钥闯?，先進(jìn)控制系統(tǒng)投運(yùn)后，還原精餾一級(jí)塔T0621A和T0621B各關(guān)鍵工藝參數(shù)的平穩(wěn)性均有明顯改善，標(biāo)準(zhǔn)差減少百分率均在50%以上。

a. 常規(guī)控制

b. 先進(jìn)控制圖6 還原精餾一級(jí)塔T0621A的工藝參數(shù)對(duì)比

a. 常規(guī)控制

b. 先進(jìn)控制圖7 還原精餾一級(jí)塔T0621B的工藝參數(shù)對(duì)比

4.2投運(yùn)率分析

先進(jìn)控制系統(tǒng)投運(yùn)率為D天內(nèi)先進(jìn)控制系統(tǒng)連續(xù)投運(yùn)時(shí)間占先進(jìn)控制系統(tǒng)運(yùn)行總時(shí)間的百分比；控制回路投運(yùn)率為D天內(nèi)所有先進(jìn)控制回路投運(yùn)時(shí)間平均值占先進(jìn)控制系統(tǒng)運(yùn)行總時(shí)間的百分比。

圖8中，4天內(nèi)先進(jìn)控制系統(tǒng)運(yùn)行時(shí)間96h，通過(guò)數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，49個(gè)先進(jìn)控制回路投運(yùn)時(shí)間平均值為90.07h，則控制回路的操作變量投運(yùn)率x=90.07÷96×100%=93.82%。因此本先進(jìn)控制系統(tǒng)運(yùn)行效果較好，提高了裝置的自動(dòng)化水平，降低了人員勞動(dòng)強(qiáng)度。

圖8 先控控制回路的數(shù)量

4.3節(jié)能率分析

分別選取先進(jìn)控制系統(tǒng)投運(yùn)前(2015年6、7月)與先進(jìn)控制系統(tǒng)投運(yùn)后(2015年9、10月)的生產(chǎn)統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)，對(duì)它們進(jìn)行分析和比較，結(jié)果見(jiàn)表3?？梢钥闯?，投運(yùn)前與投運(yùn)后相比，產(chǎn)品蒸汽單耗減少了3.839%。因此，通過(guò)實(shí)施先進(jìn)控制系統(tǒng)，在大幅提高裝置運(yùn)行平穩(wěn)性的基礎(chǔ)上，減少了蒸汽消耗，節(jié)約了能源[4]。

表3 先進(jìn)控制系統(tǒng)投運(yùn)前后的生產(chǎn)數(shù)據(jù)對(duì)比 t

5 結(jié)束語(yǔ)

三氯氫硅精餾過(guò)程先進(jìn)控制系統(tǒng)的實(shí)施，提高了精餾塔的綜合自動(dòng)化水平。與常規(guī)控制相比，在保證產(chǎn)品質(zhì)量的情況下，關(guān)鍵工藝參數(shù)的標(biāo)準(zhǔn)偏差(波動(dòng)幅度)降低了30%以上。基于裝置的平穩(wěn)操作，對(duì)精餾塔工藝指標(biāo)、回流比等進(jìn)行了“卡邊”優(yōu)化，挖掘了裝置潛力，在保證產(chǎn)品質(zhì)量和收率的前提下，年降低產(chǎn)品蒸汽消耗量在2.5%以上，先進(jìn)控制系統(tǒng)的投運(yùn)率達(dá)到了90%以上，減少了人為干擾，降低了勞動(dòng)強(qiáng)度。先進(jìn)控制系統(tǒng)投運(yùn)后，工藝參數(shù)控制更平穩(wěn)，更有利于產(chǎn)品質(zhì)量的控制。并且能夠獨(dú)立完成與DCS間的通信，保證DCS系統(tǒng)的正常運(yùn)行，實(shí)現(xiàn)先進(jìn)控制系統(tǒng)與DCS系統(tǒng)的無(wú)擾動(dòng)切換。

[1] 金曉明,王樹(shù)青,榮岡.先進(jìn)控制技術(shù)及應(yīng)用(第四講)——模型預(yù)測(cè)控制及其工業(yè)應(yīng)用[J].化工自動(dòng)化及儀表,1999, 26(5):67～74.

[2] 黃春鵬,夏茂森.先進(jìn)控制技術(shù)的應(yīng)用探討[J].現(xiàn)代化工,2004,24(z2):175～178.

[3] 趙恒平.中國(guó)石化先進(jìn)過(guò)程控制應(yīng)用現(xiàn)狀[J].化工進(jìn)展,2015,34(4):930～934.

[4] 孫兆申,趙志紅.先進(jìn)控制在醇酮裝置中的應(yīng)用[J].化工自動(dòng)化及儀表,2016,43(6):653～655.

[5] 李鑫,黃鑫,楊昆.先進(jìn)控制策略在蘭州石化乙烯裂解爐裝置的研究與應(yīng)用[J].化工自動(dòng)化及儀表,2012,39(7):940～941.

[6] 呂文祥,擺亮,黃德先,等.針對(duì)原油性質(zhì)變化的常減壓先進(jìn)控制研究與應(yīng)用[J].化工學(xué)報(bào),2009,60(10):2522～2528.

[7] 薄迎春,范建國(guó),魏玉平,等.OPC技術(shù)在催化裝置分布式先進(jìn)控制軟件中的應(yīng)用[J].化工自動(dòng)化及儀表,2005,32(6):40～43.

ApplicationofAdvancedControlTechnologyinTrichlorosilaneDistillation

CHEN Feng, ZHANG Wei-guo, LI Zhi-gang, ZHANG Yi-nan, YUN Su-he

(TechnicalDevelopmentDepartment,InnerMongoliaORISICo.,Ltd.,Huhhot010070,China)

Through taking trichlorosilane distillation for trial, both advanced control technology and its optimization was designed to develop the advanced control system for trichlorosilane distillation.Application results show that, this system can promote the stability of production, further improve the automation level of the trichlorosilane distillation, including the product quality and yield.

trichlorosilane distillation control, advanced control, DCS, Ethernet

TH862

B

1000-3932(2016)10-1021-08

2016-08-31(修改稿)