氮化鉭的刻蝕方法、磁傳感器的形成方法

申請?zhí)? 201410006637

【公開號】CN103700623A

【公開日】2014.04.02

【分類號】H01L21/768

【申請日】2014.01.07

【申請人】上海華虹宏力半導體制造有限公司

【發(fā)明人】張振興;奚裴;熊磊

【摘 要】一種氮化鉭的刻蝕方法、磁傳感器的形成方法。氮化鉭刻蝕方法包括：以圖形化的光刻膠層為掩膜，對氮化鉭薄膜進行干法刻蝕，形成氮化鉭層。干法刻蝕工藝的射頻功率≤500W，較低的射頻功率使得所形成的刻蝕氣體的等離子體的能量較低，對氮化鉭薄膜的轟擊作用較低，被轟擊濺射產(chǎn)生的鉭元素與光刻膠形成的聚合物較少；用于承載晶片的承片臺的溫度≥25℃，較高的溫度有利于所形成的聚合物被分解。因此本發(fā)明刻蝕氮化鉭的工藝容易控制。

無線傳感器網(wǎng)絡能耗均衡覆蓋調度及路由跨層設計方法

申請?zhí)? 201410004743

【公開號】CN104168631A

【公開日】2014.11.26

【分類號】H04W84/18; H04W52/02

【申請日】2014.01.06

【申請人】北京航空航天大學

【發(fā)明人】熊慶旭;付寅飛

【摘 要】本發(fā)明提供了一種無線傳感器網(wǎng)絡能耗均衡覆蓋調度及路由跨層設計方法。首先利用改進的ECCP冗余節(jié)點判定算法，在考慮節(jié)點剩余能量的基礎上，構造最小節(jié)點覆蓋集。隨后通過節(jié)點能耗速率來預測節(jié)點壽命，并確定激活的額外節(jié)點，使得網(wǎng)絡中節(jié)點能耗盡可能均衡。本發(fā)明提供的覆蓋調度算法將節(jié)點能耗速率作為調度依據(jù)，并以此建立了關聯(lián)路由協(xié)議的直接通道，可實現(xiàn)綜合覆蓋調度和路由的跨層設計。本發(fā)明提供了以定向擴散路由協(xié)議為例子的具體結合的方法。仿真結果顯示，應用本發(fā)明提供的覆蓋調度算法能夠顯著延長網(wǎng)絡壽命。

油位檢測結構組件及傳感器

申請?zhí)? 201420006373

【公開號】CN203962092U

【公開日】2014.11.26

【分類號】F01M11/00; F01M11/12

【申請日】2014.01.06

【申請人】重慶隆鑫發(fā)動機有限公司

【發(fā)明人】萬力;彭吉文;崔興建

【摘 要】本實用新型公開了一種油位檢測結構組件及傳感器，包括油位傳感器和發(fā)動機殼體。油位傳感器安裝于發(fā)動機殼體用于檢測發(fā)動機殼體內油位，檢測油位的檢測點靠近機油泵吸油口，這種結構能夠保證及時檢測油泵是否連續(xù)供油，以保證潤滑；并且車輛在上坡等行駛狀況下或者油位較低報警時油位高于機油孔有效吸油位置，利于準確反映發(fā)動機正常工作機油液位，以保證及時發(fā)現(xiàn)機油缺失等問題，避免因為無油或少油運轉導致的拉缸、曲軸抱死等故障。

用于機械計度器字輪定位的電感傳感器

申請?zhí)? 201420004285

【公開號】CN204115799U

【公開日】2015.01.21

【分類號】G01F15/16; G01F15/06

【申請日】2014.01.06

【申請人】曾少華

【發(fā)明人】曾少華

【摘 要】本實用新型涉及一種用于機械計度器字輪定位的電感傳感器的具體組成結構和安裝方式。其作用是在產(chǎn)品批量生產(chǎn)時，確保電感傳感器使用性能的穩(wěn)定可靠，同時工藝簡單，安裝方便，容易實現(xiàn)，并具有很好的防水防塵密封效果。把鐵氧體磁芯做成具有兩個長腿的形狀，并繞上線圈做成電感傳感器，將兩條長腿卡在字輪的圓平面的兩側。在垂直于字輪的圓平面的方向上，向字輪內嵌入導磁材料塊，字輪轉動時，字輪上鑲嵌的這些導磁材料塊將進入或者離開電感傳感器磁芯兩腿之間的區(qū)域。電感傳感器與字輪之間設置有防塵防水隔離層。

刻蝕后的灰化方法及磁傳感器的形成方法

申請?zhí)? 201410006870

【公開號】CN103730351A

【公開日】2014.04.16

【分類號】H01L43/12; H01L21/311

【申請日】2014.01.07

【申請人】上海華虹宏力半導體制造有限公司

【發(fā)明人】張振興;奚裴;熊磊

【摘 要】一種刻蝕后的灰化方法及磁傳感器的形成方法。刻蝕后的灰化方法包括：提供基底，基底表面具有刻蝕形成的氮化鉭層，氮化鉭層表面具有光刻膠層，作為刻蝕氮化鉭層的掩膜；刻蝕完成后，對光刻膠層進行灰化工藝?；一に嚨幕一瘹怏w包括氧氣和含氟的刻蝕氣體，溫度范圍≤150℃，射頻功率范圍≤500W。由于灰化氣體包括氧氣和含氟的刻蝕氣體，從而能完全去除氮化鉭層表面的光刻膠層，且可以降低灰化工藝對氮化鉭層和基底所造成的損傷。

一種井下微震監(jiān)測深孔傳感器安裝裝置

申請?zhí)? 201420015478

【公開號】CN203658593U

【公開日】2014.06.18

【分類號】G01V1/40

【申請日】2014.01.11

【申請人】玉溪大紅山礦業(yè)有限公司

【發(fā)明人】彭朝偉;余正方;李波

【摘 要】本實用新型公開一種井下微震監(jiān)測深孔傳感器安裝裝置，包括引繩定位管、牽引繩、監(jiān)測傳感器。牽引繩設置于引繩定位管內，監(jiān)測傳感器固定于引繩定位管，牽引繩穿過引繩定位管且一端頭固定。通過牽引繩將引繩定位管放置入垂直深孔內，再使用引繩定位管準確的將監(jiān)測傳感器安裝于指定的位置，同時可根據(jù)要求對監(jiān)測傳感器進行準確定位，提高了監(jiān)測模型的精度與準確度，將信號電纜設置于引繩定位管內避免了倒入混凝土時，混凝土下墜對傳感器與信號線纜的損壞。本實用新型結構緊湊，觀測成果高，可靠性強，便于安裝維護，降低生產(chǎn)成本，提高了企業(yè)經(jīng)濟效益。

鐵磁材料微振動傳感器件

申請?zhí)? 201420023329

【公開號】CN204128676U

【公開日】2015.01.28

【分類號】G01H11/02

【申請日】2014.01.02

【申請人】高劍森;高浩博

【發(fā)明人】高劍森;高浩博

【摘 要】鐵磁材料微振動傳感器件由兩個高磁導率“U”型鐵氧體磁芯、線圈和外顯設備組成，能夠將環(huán)境的低頻微幅機械振動轉換為較強的電信號，供外顯設備檢測。主要包括：2個鐵氧體磁芯、氣隙、線圈、塑料盒、外顯設備。在第一個鐵氧體磁芯上繞上線圈，并將它們一起固定在塑料盒的底部，再將第二個鐵氧體磁芯倒置于第一個鐵氧體磁芯上，并讓第二個鐵氧體磁芯能夠在其上面做上下自由運動，這時線圈中產(chǎn)生的感應電壓，通過外顯設備來檢測或者監(jiān)視。

汽車尾箱自動開啟系統(tǒng)與方法及傳感器裝置

申請?zhí)? 201410005463

【公開號】CN103745514A

【公開日】2014.04.23

【分類號】G07C9/00

【申請日】2014.01.03

【申請人】廣東鐵將軍防盜設備有限公司

【發(fā)明人】李植滔

【摘 要】本發(fā)明涉及一種汽車尾箱自動開啟系統(tǒng)，包括：安裝于汽車絕緣體后保險杠內側面的傳感器裝置，與傳感器裝置電性連接并且安裝于汽車上的PEPS控制器，用于供PEPS控制器認證車主身份信息的智能鑰匙，以及用于驅動汽車尾箱蓋開啟的尾箱控制模塊。其中，傳感器裝置包括控制單元和至少兩個安裝于后保險杠的電容感應件。本發(fā)明能夠自動識別車主身份，并根據(jù)傳感器裝置檢測到的踢腳動作信號來自動打開尾箱蓋，有使用方便、安全性高、可靠好，并且完全防水的特點。此外，本發(fā)明還涉及一種傳感器裝置和一種實施上述汽車尾箱自動開啟系統(tǒng)的汽車尾箱自動開啟方法。