中微MOCVD設備獲眾多客戶認可，全面進入主流LED大生產(chǎn)線

中微半導體設備（上海）有限公司（以下簡稱“中微”）自主研發(fā)制造的MOCVD設備Prismo D-Blue?，是在國內(nèi)幾十家設備公司和研究所為開發(fā)MOCVD設備所做的多年努力中，唯一一個成功進入多個生產(chǎn)線，實現(xiàn)大規(guī)模量產(chǎn)，能和國際一流設備正面競爭的設備。

在政府和產(chǎn)業(yè)界多年的努力推動下，我國已成為國際LED產(chǎn)業(yè)發(fā)展最快，規(guī)模最大的地區(qū)。但在過去幾年，受一些地方政府過度的補貼政策影響，許多LED生產(chǎn)企業(yè)大量購置進口的MOCVD設備，加之LED產(chǎn)業(yè)自身的大幅波動，導致行業(yè)陷入LED產(chǎn)能過剩、MOCVD設備供過于求的困境。中微的MOCVD設備Prismo D-Blue?自2013年正式發(fā)布以來，突破重重障礙和困難，經(jīng)過兩年多的不懈努力，中微的MOCVD設備在多個國內(nèi)先進的LED生產(chǎn)線上表現(xiàn)出了優(yōu)異的性能，穩(wěn)定的器件良率和較高的生產(chǎn)效率，證明能連續(xù)加工120 到150批次，已達到足以媲美國際市場上同類產(chǎn)品的世界先進水平，在一些設計上和部分指標上甚至優(yōu)于國際同類產(chǎn)品。中微的MOCVD設備得到了國內(nèi)外眾多LED領先廠商的廣泛認可，目前已經(jīng)全面進入主流LED大生產(chǎn)線，開啟了MOCVD國產(chǎn)化大門。

MOCVD的國產(chǎn)化和國產(chǎn)MOCVD被LED生產(chǎn)企業(yè)廣泛采用，是我國成為第三代半導體器件產(chǎn)業(yè)強國的必由之路，中微始終將MOCVD國產(chǎn)化視為己任。中微MOCVD設備從無到有的突破，且一舉達到國際前沿技術水平，充分證明了我國的設備制造企業(yè)完全有能力完成MOCVD國產(chǎn)化戰(zhàn)略中自己應當承擔的那部分任務。

截至2016年6月底，中微已運出15臺Prismo D-Blue？MOCVD反應腔，進入多家主要的LED或功率器件生產(chǎn)企業(yè)，其中的絕大多數(shù)已經(jīng)通過驗證測試并進入大生產(chǎn)線及確認銷售，并已高質(zhì)量地加工了40多萬片外延片。中微在第一代MOCVD研制和產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗的基礎上，為順應市場新的需求而開發(fā)的第二代MOCVD設備（大托盤）也已取得初步成果，首臺已在7月付運客戶。中微強勁的發(fā)展勢頭進一步鞏固并加強了中微作為國內(nèi)MOCVD設備生產(chǎn)商的領先地位，同時也體現(xiàn)了Prismo D-Blue?較強的國際競爭力。

在創(chuàng)新性保護方面，中微MOCVD設備Prismo D-Blue?目前已申請了200多項專利，其中國外專利占比一半以上，對中微多個獨特的創(chuàng)新和設計形成了有效的知識產(chǎn)權保護。此外，它還遵循了半導體制造規(guī)則并完全符合SEMI標準。