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超短激光脈沖消除熱影響

然而，對于某些應(yīng)用，使用掃描振鏡冷消融的加工方式得到的精度與錐角是不夠的。錐角是在切割縫的邊界產(chǎn)生的，部分是因?yàn)榧す饽芰棵芏仍谀抢锉容^低，部分是因?yàn)椴牧显谀抢镌俪练e。對于這些應(yīng)用，使用固定加工頭、加工氣體噴嘴和高精度軸是很有優(yōu)勢的。然而，軸的加速度和速度與掃描振鏡相比是微不足道的。因此，激光引入的熱量在固定加工頭的應(yīng)用中會比較多。即使是局部熔化材料也不能完全排除這種現(xiàn)象。盡管如此，可以依舊保持工件質(zhì)量。與固體激光器和CO2激光器的“熱”激光切割相比，超短脈沖確保引入的熱量在時間和空間上是可控的。因此，仍然不會對工件造成熱影響。用固定加工頭的USP激光微切割就如同微米范圍的熱加工。

更加陡的錐角和

與掃描振鏡的冷消融加工方式相比，如果能正確采用固定加工頭微切割加工，則能形成更陡的錐角，同時保持良好的邊緣質(zhì)量。優(yōu)化的噴嘴能夠提供加工氣體，在高壓下去除材料的切縫。除了激光參數(shù)，噴嘴的幾何形狀和位置，以及加工氣體的類型和壓力同樣顯著影響著切割效果。另一個重要的方面就是合適的工件固定夾具的發(fā)展，同時支持可靠的固定和材料的自由切割。要將設(shè)計(jì)圖導(dǎo)入激光系統(tǒng)加工時，必須考慮激光的切入以及出口的位置。當(dāng)涉及高精度，工藝的開發(fā)和質(zhì)量的控制時，就需要適當(dāng)?shù)臏y量設(shè)備，這樣才能夠可靠地測量幾微米和表面粗糙度值低于1 μm的公差。