螺桿真空泵自平衡螺桿轉(zhuǎn)子優(yōu)化設(shè)計(jì)
巫修海1,2,陳文華1,張寶夫2
(1.浙江理工大學(xué)浙江省機(jī)電產(chǎn)品可靠性技術(shù)研究重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,杭州310018;2.臺(tái)州職業(yè)技術(shù)學(xué)院機(jī)電工程學(xué)院,浙江臺(tái)州318000)
摘要:為了開(kāi)發(fā)能適應(yīng)惡劣工況、高效節(jié)能和安全運(yùn)行的螺桿真空泵,設(shè)計(jì)了一種自平衡的內(nèi)部壓縮螺桿轉(zhuǎn)子模型。使用借助Hermite插值理論導(dǎo)出圓柱變螺距螺旋線的參數(shù)方程,構(gòu)建了變螺距設(shè)計(jì)參數(shù)、尾部壓縮級(jí)數(shù)與螺旋角度的變量關(guān)系式,建立了自平衡螺桿轉(zhuǎn)子優(yōu)化設(shè)計(jì)模型。通過(guò)計(jì)算,優(yōu)化轉(zhuǎn)子質(zhì)量軸向分布,無(wú)需在螺桿轉(zhuǎn)子兩端和齒頂減重而達(dá)到良好的自身動(dòng)平衡,動(dòng)平衡試驗(yàn)證明了設(shè)計(jì)模型的可靠性,為螺桿真空泵的動(dòng)平衡研究提供了參考依據(jù)。
關(guān)鍵詞:螺桿真空泵;靜平衡;動(dòng)平衡;螺桿轉(zhuǎn)子;變螺距
中圖分類號(hào):O347.6
文獻(xiàn)標(biāo)志碼:A
DOI:10.13465/j.cnki.jvs.2015.19.023
Abstract:In order to develop screw vacuum pumps working efficiently, running safely and adapting to bad working conditions, a screw rotor with automatic dynamic balancing and changes in volume was designed. The cylinder variable pitch helicaline parameter equation was derived using Hermit’s interpolation theory. The relationships among variable pitch design parameters, tail compression stages and spiral angle were established. Then, the optimal design model for a screw rotor with automitic dynamic balance was built. Through calculation, the axial distribution of the rotor mass was optimized, the dynamic balance reached without the weight subtraction at both ends and tooth tip of the rotor. The reliability of the design model was verified with the dynamic balance tests. The results provided a reference for studying dynamic balance of screw vacuum pumps.
基金項(xiàng)目:國(guó)家自然科學(xué)基金(51309239,41206042);青島市科技計(jì)劃項(xiàng)目(13-1-4-216-jch) 國(guó)家自然科學(xué)基金(51303081);江蘇省自然科學(xué)基金(BK20130761);江蘇省普通高校學(xué)術(shù)學(xué)位研究生科研創(chuàng)新計(jì)劃(KYLX_0398)
收稿日期:2015-02-08修改稿收到日期:2015-04-07 2015-01-16修改稿收到日期:2015-04-15
Optimization design of screw rotor with automatic dynamic balance of a screw vacuum pump
WUXiu-hai1,2,CHENWen-hua1,ZHANGBao-fu2(1. Zhejiang Provincie’s Key Laboratory of Reliability Technology for Mechanical and Electrical Products, Zhejiang Sci-Tech University, Hangzhou 310018, China;2. Mechanical & Electrical Engineering College, Taizhou Vocational and Technical College, Taizhou 318000, China)
Key words:screw vacuum pump; static balance; dynamic balance; screw rotor; variable pitch
螺桿真空泵由螺桿空壓機(jī)演變而來(lái),用來(lái)抽取氣體,產(chǎn)生真空泵環(huán)境,由于其是一種理想的真空獲得設(shè)備,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,維護(hù)方便,在使用過(guò)程中對(duì)環(huán)境友好,不會(huì)產(chǎn)生污染,已經(jīng)成為微電子、半導(dǎo)體、制藥、精密加工等行業(yè)首選真空獲得設(shè)備[1],特別是各種內(nèi)壓縮的干式螺桿真空泵由于高效節(jié)能和低噪聲,業(yè)已成為目前開(kāi)發(fā)的熱點(diǎn)。螺桿式空壓機(jī)的螺桿型線都是多頭型線,其自身具有良好的平衡性;而螺桿真空泵是在無(wú)油、干式的狀態(tài)下運(yùn)行,螺桿型線需要特殊處理,才能獲得理想的工作性能,再考慮到制造成本因素,市場(chǎng)上以單頭的螺桿真空泵為主,可以大幅節(jié)省加工時(shí)間而降低成本。伴隨著干式螺桿真空泵高速化的發(fā)展趨勢(shì),有必要在設(shè)計(jì)階段對(duì)螺桿轉(zhuǎn)子進(jìn)行動(dòng)平衡優(yōu)化設(shè)計(jì)計(jì)算,以提高螺桿泵整體工作性能的提高和使用壽命。
Thomas[2]提出了一種內(nèi)壓縮螺桿真空泵,螺桿采用連續(xù)漸變過(guò)渡形式,端面采用對(duì)稱型線,該螺桿應(yīng)用于德國(guó)Leybold的SrewLine系列螺桿式無(wú)油內(nèi)壓縮真空泵,是一種專門為工業(yè)應(yīng)用設(shè)計(jì)的干式泵,解決了工業(yè)應(yīng)用中,如粉塵、焦油等工況不好時(shí)的真空問(wèn)題,其螺桿采用在吸氣端減重,內(nèi)部壓縮比設(shè)計(jì)成3.5以上,螺桿才便于達(dá)到比較理想的動(dòng)平衡,但是犧牲了半個(gè)壓縮級(jí)數(shù)。North[3]設(shè)計(jì)了一種共軛錐形螺桿,其螺距保持不變,由軸向底徑錐形變化引起內(nèi)部壓縮體積變化,該共軛錐形螺桿是英國(guó)Edwards針對(duì)惡劣真空環(huán)境推出的工業(yè)應(yīng)用,采用平衡頭[4-6]的方式達(dá)到螺桿的動(dòng)平衡,但增加了螺桿軸向密封的難度。Ulrich[7]設(shè)計(jì)了一種平衡性能良好的變螺距雙螺桿轉(zhuǎn)子,端面型線保持不變,螺距由小到大,再到小,最后保持不變,這種螺桿應(yīng)用于德國(guó)Busch公司的COBRA系列螺桿泵,制造工藝?yán)硐?,自身能夠達(dá)到85%以上的平衡,再輔助兩個(gè)端面減重可達(dá)到完全平衡但是螺桿設(shè)計(jì)形式固定,缺乏變化。Zhang[8-9]研究了單頭螺桿真空泵轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡問(wèn)題,提出了兩個(gè)端面去質(zhì)量,輔助齒頂面找正的動(dòng)平衡方式,這種平衡方式破壞了齒頂表面結(jié)構(gòu),不能適應(yīng)惡劣的工藝環(huán)境。
1問(wèn)題提出
在實(shí)際操作過(guò)程中,最常見(jiàn)的螺桿轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡方法是通過(guò)螺桿兩個(gè)端面減重,再輔助螺桿齒頂端減重。在齒頂端減重所取的平衡孔或平衡槽,會(huì)帶來(lái)兩個(gè)后果,一方面,螺桿真空泵在運(yùn)行過(guò)程中,污物會(huì)在平衡孔或槽的位置滯留,使螺桿的動(dòng)平衡發(fā)生變化導(dǎo)致不平衡,引起機(jī)械振動(dòng),從而影響螺桿真空泵的運(yùn)行性能和使用壽命;另一方面,由于平衡孔或平衡槽的存在,涂層不到位,特別在醫(yī)藥化工等有腐蝕的工藝的場(chǎng)合,減重平衡孔和平衡槽最易腐蝕。鑒于此,要設(shè)計(jì)既能適應(yīng)惡劣工況,又有良好自身動(dòng)平衡的螺桿,其轉(zhuǎn)子的設(shè)計(jì)必須盡量保持螺桿齒頂結(jié)構(gòu)表面的完整性,或設(shè)計(jì)的螺桿只需兩端減除少許質(zhì)量即可達(dá)到動(dòng)平衡,使用壽命長(zhǎng),維護(hù)成本低。
2螺桿轉(zhuǎn)子模型
考慮到制造成本和互換性,絕大多數(shù)的螺桿真空泵的成對(duì)螺桿采用相同的端面型線,尺寸參數(shù)完成相同。端面型線不變的等導(dǎo)程螺桿轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡的一般規(guī)律是:不論轉(zhuǎn)子采用何種端面型線,當(dāng)螺桿總長(zhǎng)度等于其節(jié)距的整數(shù)倍,都能自動(dòng)保證質(zhì)心處于轉(zhuǎn)動(dòng)軸線上,從而滿足靜平衡要求。對(duì)于端面型線面積的形心不在轉(zhuǎn)動(dòng)軸線上,旋轉(zhuǎn)時(shí)一定存在慣性力矩,無(wú)法滿足動(dòng)平衡條件,且轉(zhuǎn)子長(zhǎng)度越長(zhǎng)(即螺旋導(dǎo)程數(shù)越多),慣性力就會(huì)越大[9]。要使轉(zhuǎn)子的慣性力矩盡可能小,則要求螺桿轉(zhuǎn)子在任意兩個(gè)指定平面上的質(zhì)徑積矢量和盡可能小,直至為零即滿足平衡要求。內(nèi)壓縮的螺桿轉(zhuǎn)子,是非等導(dǎo)程的螺桿轉(zhuǎn)子,一般吸氣端是大導(dǎo)程區(qū)域,排氣端是小導(dǎo)程區(qū)域,不平衡量集中在大導(dǎo)程區(qū)域,因此螺桿整體設(shè)計(jì)采用三段式結(jié)構(gòu),作為排氣端的尾部設(shè)計(jì)為等螺距的小導(dǎo)程,頭部的吸氣端和中間段采用變螺距,是起內(nèi)壓縮作用。吸氣端螺距從小到大變化,中間段從大往小變化,兩者相互作用減少不平衡量,結(jié)合文獻(xiàn)[10],螺桿轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)成采用端面型線不變的變螺距螺桿轉(zhuǎn)子。
2.1圓柱變螺距螺旋線
對(duì)于端面型線不變的螺桿轉(zhuǎn)子,其軸向螺旋線是圓柱螺旋線Γ,可以表示為
(1)
圖1 漸變式圓柱螺旋線展開(kāi)圖、螺距變化曲線 Fig.1 Flat pattern of cylindrical Helix and variable pitch curve of cylinder spiral
圖1中所示(P1(α)、P2(α)、P3(α))的三段圓柱螺旋線軸向參數(shù)方程分別滿足:
P1(α1)=P2(α1)
P″1(α1)=P″2(α1)
P2(α2)=P3(α2)
P″2(α2)=P″3(α2)
(2)
(3)
(4)
α2≤α≤α3
(5)
式(3)~(5)中,p為螺桿的最小螺距計(jì)算參考值;a為頭部螺桿起始位置的變螺距參數(shù);c為螺桿吸氣端和螺桿中間段相交處的變螺距參數(shù);b為排氣端螺桿的等螺距參數(shù),bp表示排氣端螺桿導(dǎo)程;m1為吸氣端變螺距參數(shù),m1p表示該區(qū)域的軸向長(zhǎng)度;m2為中間段變螺距參數(shù),m2p表示區(qū)域的軸向長(zhǎng)度。當(dāng)b=1時(shí),a,c分別表示螺桿內(nèi)部體積相對(duì)于末端體積的壓縮比。
內(nèi)壓縮的螺桿真空泵壓縮性能的改善,一個(gè)關(guān)鍵因素是如何優(yōu)化設(shè)計(jì)內(nèi)部壓縮[12],為此,當(dāng)b=1時(shí),為避免出現(xiàn)較小的螺距,須有1 (6) (7) (8) 考慮螺桿真空泵極限真空度等性能參數(shù)指標(biāo)與簡(jiǎn)化計(jì)算,軸向整個(gè)導(dǎo)程數(shù)(級(jí)數(shù))取值小于等于8;同時(shí)為取得良好的平衡性和減少螺桿級(jí)數(shù),吸氣端螺桿和中間段螺桿都為1個(gè)導(dǎo)程,即取α1=2π,α2=4π,α3=(2+n)×2π,n=0,1,2,3,4,5,6。 2.2變螺距螺桿三維精確實(shí)體模型 圖2 三維嚙合模型 Fig.2 3D meshed model 螺桿采用不變的端面型線,端面型線一邊沿軸向移動(dòng),一邊沿圓柱螺旋線轉(zhuǎn)動(dòng),形成對(duì)應(yīng)的螺桿,精確的三維實(shí)體嚙合模型見(jiàn)圖2。 3螺桿轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡優(yōu)化設(shè)計(jì) 3.1螺桿轉(zhuǎn)子靜、動(dòng)平衡理論 螺桿轉(zhuǎn)子為剛性轉(zhuǎn)子,動(dòng)平衡的條件要求通過(guò)轉(zhuǎn)子質(zhì)心的主慣性軸與旋轉(zhuǎn)軸相重合。滿足這一條件,旋轉(zhuǎn)軸則不受任何力和力偶的作用,并且支承上沒(méi)有動(dòng)載荷作用,也就沒(méi)有振動(dòng)現(xiàn)象的出現(xiàn),上述狀態(tài)稱之為完全動(dòng)平衡狀態(tài)?;诖?,螺桿轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡的設(shè)計(jì)指標(biāo)是使轉(zhuǎn)子的慣性力F和慣性力矩M盡可能小,最好同時(shí)為零。螺桿轉(zhuǎn)子質(zhì)量分布見(jiàn)圖3。 圖3 螺桿轉(zhuǎn)子質(zhì)量分布圖 Fig.3 Mass distribution map of the screw rotor 圖3中,dm為螺桿軸向長(zhǎng)度的微量dz所對(duì)應(yīng)的微小質(zhì)量,ω是轉(zhuǎn)子的固定轉(zhuǎn)速,r型線面積形心與型線旋轉(zhuǎn)中心的距離,G為微小厚度轉(zhuǎn)子的質(zhì)心,dα為微小厚度轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)的角度。慣性力F和慣性力矩M表示為[13] F=ω2∫me→min (9) M=ω2k×(Izxi+Iyzj)→min (10) 式(9)和式(10)中,∫m是螺桿轉(zhuǎn)子總質(zhì)量,e是螺桿轉(zhuǎn)子質(zhì)心與旋轉(zhuǎn)軸心的偏移矢量,Izx是轉(zhuǎn)子對(duì)Z-X軸的慣性張量,Iyz是轉(zhuǎn)子對(duì)Y-Z軸的慣性張量,Izx和Iyz是度量轉(zhuǎn)子的主慣性軸對(duì)旋轉(zhuǎn)軸的傾斜角度的量。帶入型線所包圍的面積A和螺桿轉(zhuǎn)子密度ρ,dm對(duì)應(yīng)的慣性力dF為: dF=ω2rdm=ω2rρAdz=ω2rρAp′(α)dα (11) 代入面積A和密度ρ,F(xiàn)和M分量分別表示為: Fx=ω2∑(∫(mrcosα)dα)= ω2∑(∫(ρAp′(α)rcosα)dα) (12) Fy=ω2∑(∫(mrsinα)dα)= ω2∑(∫(ρAp′(α)rsinα)dα) (13) Mx,z=ω2Izx=ω2∫zxdm= (14) My,z=ω2Iyz=ω2∫yzdm= (15) 由于ρ,A,r和ω都是固定值,所以,式(12)~式(15)可分別寫為: (16) (17) (18) (19) 式(16)~式(19)都是與螺旋線相關(guān)聯(lián)的參數(shù)方程。 3.2設(shè)計(jì)變量 對(duì)螺桿的數(shù)學(xué)模型式(6)~(8)分析可知,決定螺桿幾何參數(shù)有螺桿的最大壓縮比c,排氣端的導(dǎo)程數(shù)n,吸氣端螺桿導(dǎo)程參數(shù)a和m1,中間段螺桿的導(dǎo)程參數(shù)m2,最小導(dǎo)程p和導(dǎo)程參數(shù)b。c決定了螺桿的壓縮能力,n表示最終的螺桿壓縮級(jí)數(shù),m1和m2決定了螺桿的排氣能力,螺桿的獨(dú)立設(shè)計(jì)參數(shù)共7個(gè),設(shè)計(jì)變量定義為: X=(x1,x2,x3,x4,x5,x6,x7)T= (a,b,c,n,m1,m2,p)T (20) 3.3目標(biāo)函數(shù) 為了達(dá)到理想動(dòng)平衡狀態(tài),其設(shè)計(jì)指標(biāo)是使轉(zhuǎn)子的慣性力和慣性力矩盡可能小,該問(wèn)題的目標(biāo)函數(shù)可以表示為 (21) 優(yōu)化的理想狀態(tài)為四個(gè)分量均為零。 3.4約束條件 為了增加吸氣端長(zhǎng)度和簡(jiǎn)化模型計(jì)算,在優(yōu)化設(shè)計(jì)過(guò)程中,吸氣端和中間段約定為1個(gè)導(dǎo)程,排氣端導(dǎo)程數(shù)約定為整數(shù)倍,總長(zhǎng)度固定為L(zhǎng),最小導(dǎo)程 (22) 加上螺桿端面型線與總長(zhǎng)度固定,從而總體積和重量固定,約束條件表示為 (23) 通過(guò)導(dǎo)程參數(shù)a,b,m1,m1,c的變化引起導(dǎo)程的變化,從而導(dǎo)致質(zhì)量在軸向的重新分布。 至此,螺距螺桿轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡計(jì)算的數(shù)學(xué)模型已經(jīng)建立,這一計(jì)算模型和方法沒(méi)有涉及轉(zhuǎn)子型線的構(gòu)成。 3.5優(yōu)化計(jì)算及結(jié)果分析 由式(16),式(17)可知,螺桿的靜平衡條件為 (24) 現(xiàn)將不同Pi(α)的代入式(24),則式(24)可寫為 (25) (26) 將式(6)~(8)代入上述兩式,則式(25)和(26)分別可寫為 (27) (28) 由式(27)和(28),可推導(dǎo)出 (29) (30) 也就是說(shuō),式(3)~(8)中的螺桿設(shè)計(jì)參數(shù),若滿足條件(29)或式(30),則螺桿轉(zhuǎn)子可以達(dá)到靜平衡。若b=1,p即表示排氣端的導(dǎo)程,a,c表示內(nèi)部體積壓縮比(相對(duì)于排氣端)。圖4給出了相同的壓縮比c,再給定初始的m1,得出符合靜平衡條件的四種螺距曲線,圖4中,不同的m1、m2值,從圖中可以看出中間段螺桿的螺距曲線是由吸氣端變形而得,排氣端是等導(dǎo)程螺距曲線。 圖4 符合靜平衡條件的螺距曲線 Fig.4 pitch curves consist with static balance 再將式(3)~(8)代入動(dòng)平衡條件式(18)和(19),即可以得出方程 (31) (32) 上述動(dòng)平衡方程變量只涉及n,c,m1,m2四個(gè)變量,最終計(jì)算結(jié)果與L,p無(wú)關(guān),n從固定的范圍變化(0~6),與方程式(27),(28)聯(lián)立,四個(gè)方程解四個(gè)未知數(shù)。 由方程式(31),(32)可以推導(dǎo)出m1=m2,表明吸氣端和中間段螺距曲線對(duì)稱,不同的n之下,壓縮比等各參數(shù)的變化見(jiàn)表1。 表1 滿足動(dòng)平衡的參數(shù) m1和m2不相等時(shí),螺距曲線變形較多,當(dāng)m1和m2數(shù)值比較接近時(shí),不平衡量比較小,第三和第四個(gè)分目標(biāo)函數(shù)的數(shù)值就可以取得最小值,再借助兩端減重來(lái)達(dá)到理想的動(dòng)平衡;m1/m2比值相差不要太大,建議取值0.8~1.2之間,這樣動(dòng)平衡量減重比較小。圖5是表1中n=6的螺桿質(zhì)心軸向變化規(guī)律,rx,ry,r分別是螺桿質(zhì)心x,y分量和合成值沿螺桿軸向變化的規(guī)律,從圖中可以看出螺桿吸氣端和中間段質(zhì)心位置變化比較明顯,沿著螺桿軸向逐漸變小,到排氣端時(shí),質(zhì)心在較小的范圍內(nèi)規(guī)律性的波動(dòng)。在螺桿設(shè)計(jì)計(jì)算過(guò)程中,m1和m2不相等時(shí),壓縮比固定的情況下,m1取較大值,吸氣段螺桿比中間壓縮段螺桿長(zhǎng),可以提高抽氣速率;m2取較大值,中間壓縮段螺桿長(zhǎng)度變長(zhǎng),壓縮更平穩(wěn),因此可以根據(jù)具體工況選取設(shè)計(jì)參數(shù),產(chǎn)生的不平衡量可以在兩端減重。 圖5 螺桿質(zhì)心軸向變化規(guī)律 Fig.5 Variable rule along axis of centroid of screw rotor 圖6是表1中n=6的螺桿慣量積軸向變化規(guī)律,圖中ρAL的積為螺桿質(zhì)量,從圖中可以看出,Iyz波動(dòng)較大,Izx波動(dòng)很小,到排氣端小導(dǎo)程等螺距區(qū)域兩種變化都很小,可以看出吸氣端和中間段的螺桿設(shè)計(jì)抵消了絕大部分的不平衡量。 圖6 螺桿慣量積軸向變化規(guī)律 Fig.6 Variable rule along axis of inertia of screw rotor 3.6設(shè)計(jì)實(shí)例與試驗(yàn) 以螺桿LG50為例,螺桿長(zhǎng)度L=306mm,圖7(a)是n=3,c=5.5614完全動(dòng)平衡設(shè)計(jì);圖7(b)是n=6,c=6.4842完全動(dòng)平衡設(shè)計(jì);圖7(c)固定壓縮比c=5,n=3的設(shè)計(jì)實(shí)例,這種設(shè)計(jì)有少許的不平衡量產(chǎn)生,為保證螺桿齒頂表面的完整性,需要兩端面減重,只需去除少許重量即可,圖示實(shí)例兩端減重35.1g。 圖7 設(shè)計(jì)實(shí)例 Fig.7 design examples 使用Pro/engineer行為建模技術(shù),得到圖7(a)設(shè)計(jì)實(shí)例的質(zhì)量屬性,見(jiàn)圖8,慣性積Izx和Iyz都為零。 圖8 設(shè)計(jì)實(shí)例的質(zhì)量屬性(n=6) Fig.8 Mass attribute of design examples(n=6) 動(dòng)平衡試驗(yàn)使用上海申克的硬支承平衡機(jī),型號(hào)YYW-300A,螺桿設(shè)計(jì)階段已經(jīng)具有良好的動(dòng)平衡,不平衡量主要由加工、材質(zhì)的不均勻引起,總體的不平衡量很小,實(shí)際測(cè)量值左端0.653g,右端1.71g,符合ISO1940動(dòng)平衡標(biāo)準(zhǔn)。在轉(zhuǎn)速更高或動(dòng)平衡要求更高的情況下,為了讓螺桿真空泵能夠適應(yīng)惡劣的工作環(huán)境,只需在兩端去除少許重量,動(dòng)平衡現(xiàn)場(chǎng)見(jiàn)圖9。 圖9 動(dòng)平衡試驗(yàn) Fig.9 Dynamic balancing test 4結(jié)論 設(shè)計(jì)了一種可以表面結(jié)構(gòu)完整、適應(yīng)惡劣工況的內(nèi)壓縮螺桿真空泵自平衡螺桿轉(zhuǎn)子,螺桿轉(zhuǎn)子無(wú)需齒頂減重即可以達(dá)到自身良好的動(dòng)平衡,可保持螺桿齒頂表面的完整性,提高螺桿真空泵的使用壽命。構(gòu)建的螺桿轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡計(jì)算與優(yōu)化方法,在螺桿端面型線不變的情況下,螺桿的靜、動(dòng)平衡設(shè)計(jì)只與螺距曲線和纏繞角度有關(guān)聯(lián),和具體的端面型線參數(shù)、螺桿長(zhǎng)度無(wú)關(guān)。使用文中方法設(shè)計(jì)的螺桿轉(zhuǎn)子,在級(jí)數(shù)一定的情況下達(dá)到動(dòng)平衡時(shí),壓縮比是固定值;在壓縮比固定的情況下,級(jí)數(shù)越多,動(dòng)平衡越好,通過(guò)在兩個(gè)端面減重達(dá)到了完全動(dòng)平衡。 參考文獻(xiàn) [1]郭蓓,薛建國(guó),牛瑞,等.干式螺桿真空泵研究現(xiàn)狀與展望[J].真空,2009,46(5):37-40. 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