專利名稱:一種刻蝕金屬鉬材料的方法
2014-01-30 19:55:22
中國鉬業(yè) 2014年3期
專利申請?zhí)?CN201110362349.6
公開號:CN102417156A
申請日:2011.11.15
公開日:2012.04.18
申請人:北京大學(xué)
本發(fā)明公開了一種刻蝕金屬鉬材料的方法，在金屬鉬材料上形成刻蝕掩膜，然后采用高密度等離子體(如ICP、TCP 等)干法刻蝕工藝，產(chǎn)生高密度、高能量離子和自由基，實(shí)現(xiàn)了對金屬鉬體材料的高速率、各向異性刻蝕。刻蝕速率可達(dá)2.63 μm/min，刻蝕結(jié)果側(cè)壁的陡直度可達(dá)70°?；诒景l(fā)明的方法，可利用金屬鉬襯底基片作為制備MEMS 器件的主體材料。
猜你喜歡
導(dǎo)航定位學(xué)報(2022年5期)2022-10-13 08:35:28
中國體視學(xué)與圖像分析(2021年3期)2021-11-24 02:20:44
科技資訊(2020年22期)2020-09-23 08:02:27
機(jī)電信息(2020年12期)2020-06-29 07:21:29
現(xiàn)代電子技術(shù)(2018年15期)2018-08-06 05:54:26
制造技術(shù)與機(jī)床(2017年10期)2017-11-28 05:20:18
科技資訊(2016年21期)2016-05-30 18:49:07
無機(jī)鹽工業(yè)(2016年1期)2016-03-15 04:53:15
無機(jī)鹽工業(yè)(2016年1期)2016-03-15 04:53:15
家禽科學(xué)(2014年12期)2014-04-29 00:44:03
