国产日韩欧美一区二区三区三州_亚洲少妇熟女av_久久久久亚洲av国产精品_波多野结衣网站一区二区_亚洲欧美色片在线91_国产亚洲精品精品国产优播av_日本一区二区三区波多野结衣 _久久国产av不卡

?

專利名稱:一種刻蝕金屬鉬材料的方法

2014-01-30 19:55:22
中國鉬業(yè) 2014年3期
關(guān)鍵詞:高速率掩膜本發(fā)明

專利申請?zhí)?CN201110362349.6

公開號:CN102417156A

申請日:2011.11.15

公開日:2012.04.18

申請人:北京大學(xué)

本發(fā)明公開了一種刻蝕金屬鉬材料的方法,在金屬鉬材料上形成刻蝕掩膜,然后采用高密度等離子體(如ICP、TCP 等)干法刻蝕工藝,產(chǎn)生高密度、高能量離子和自由基,實(shí)現(xiàn)了對金屬鉬體材料的高速率、各向異性刻蝕。刻蝕速率可達(dá)2.63 μm/min,刻蝕結(jié)果側(cè)壁的陡直度可達(dá)70°?;诒景l(fā)明的方法,可利用金屬鉬襯底基片作為制備MEMS 器件的主體材料。

猜你喜歡
高速率掩膜本發(fā)明
利用掩膜和單應(yīng)矩陣提高LK光流追蹤效果
一種結(jié)合圖像分割掩膜邊緣優(yōu)化的B-PointRend網(wǎng)絡(luò)方法
LTE技術(shù)在城市軌道交通信號系統(tǒng)中的應(yīng)用探討
科技資訊(2020年22期)2020-09-23 08:02:27
一種高速背板連接器的設(shè)計
一種基于FPGA+DSP的高速串口通信設(shè)計
光纖激光掩膜微細(xì)電解復(fù)合加工裝置研發(fā)
多層陰影掩膜結(jié)構(gòu)及其制造和使用方法
科技資訊(2016年21期)2016-05-30 18:49:07
一種鎂鹽制備高分散氫氧化鎂的方法
一種鎂鹽制備氫氧化鎂阻燃劑的方法
酵母硒或納米硒用于生產(chǎn)耐貯存富硒鵪鶉蛋的應(yīng)用
404 Not Found

404 Not Found


nginx
深水埗区| 黄冈市| 米脂县| 双流县| 临澧县| 宁陵县| 巴彦县| 昭苏县| 泉州市| 道孚县| 新河县| 卫辉市| 温宿县| 平定县| 奉贤区| 浙江省| 连南| 西吉县| 汾西县| 鄄城县| 宁德市| 邵武市| 满洲里市| 东台市| 耿马| 闻喜县| 图木舒克市| 宁海县| 合作市| 驻马店市| 汾阳市| 定边县| 兰西县| 横山县| 尤溪县| 宁蒗| 呼玛县| 宜阳县| 九江县| 东辽县| 都昌县|