盛碩　陳賀　楊橋

引言

隨著納米技術(shù)和精密加工技術(shù)的發(fā)展，對(duì)精密測(cè)量技術(shù)和高精度計(jì)量檢測(cè)設(shè)備要求越來越高。各國研究所和各大高校投入大量的人力和物力在高精度的計(jì)量測(cè)量設(shè)備的研發(fā)上，高精度的微納測(cè)量平臺(tái)需要高精度的測(cè)頭相匹配，高精度的測(cè)頭的研發(fā)成為測(cè)量領(lǐng)域的趨勢(shì)。