鐘麗紅等

摘要：為研究正交偏振光相位法測量機床滾轉(zhuǎn)角過程中，機床的俯仰、偏擺運動誤差對測量精度的影響，建立了測量光路數(shù)學(xué)模型，利用瓊斯矩陣法計算光路中光的偏振態(tài)變換過程，并推導(dǎo)出被測滾轉(zhuǎn)角與相位變化量間的測量公式。在此基礎(chǔ)上，采用光的偏振和晶體光學(xué)理論，分析了測量過程中機床俯仰、偏擺運動誤差造成的敏感元件（即1/2波片）傾斜所引起的測量誤差。分析結(jié)果表明，1/2波片在傾斜角度小于2。的情況下所引起的測量誤差小于O.1%，對測量精度影響較小，從而論證了正交偏振光相位法高精度測量機床滾轉(zhuǎn)角的可行性。

關(guān)鍵詞：滾轉(zhuǎn)角；1/2波片；運動誤差；測量誤差