誰能支持EUV光刻？

回答只有極少數(shù)幾家公司，因為設(shè)備的價格再次上升。VLSICEODanHutcheson回答，每臺1.25億美元。在報告中，一年之前VLSI的總裁Risto Puhakka曾預(yù)測，設(shè)備的價格未來要按pixel像素來計算，當(dāng)時大家認(rèn)為這是不可能的，但是現(xiàn)在EUV的價格己經(jīng)幾乎得到證實。

在2003年時，Intel支持EUV，希望每臺設(shè)備價格在2000萬美元。當(dāng)時的目標(biāo)是試圖用EUV來替代今日的193 nm浸入式光刻，如今己成泡影。

由于研發(fā)成本的上升，導(dǎo)致設(shè)備價格不斷提升，所以EUV不斷的推遲上市。據(jù)ASML報道，EUV alpha型每臺要6000萬美元。IMEC及Sematech都購買了首臺alpha型設(shè)備。

隨著EUV的進(jìn)步，正如之前報道，ASML已經(jīng)售出6臺樣機(jī)，取名NXE 3100，預(yù)計今年底發(fā)貨，每臺設(shè)備己提升至9000萬美元。

按BarclayCapital的說法，ASML實際上己經(jīng)收到下一代EUV設(shè)備10臺的訂單，取名為NXE3300，客戶包括 Hynix、IMEC、Samsung、Toshiba 及 TSMC 等。應(yīng)該承認(rèn)即使是NXE3300仍不是真正量產(chǎn)的設(shè)備。

（來源：EE Times）